Out on the fab floor, một tấm wafer 300mm đặt sẵn, chờ bước soft bake để cố định cấu hình photoresist. Một điểm nóng, một vùng lạnh, và kiểm soát chiều rộng đường line của bạn sẽ bị mất. Dây chuyền dừng lại. Chúng tôi phát triển bộ gia nhiệt xử lý wafer quang học này để ngăn tình trạng đó xảy ra ngay từ đầu.
Điều quan trọng thực sự, về mặt kỹ thuật
Thiết bị dựa trên các emitter quartz hồng ngoại sóng ngắn (SWIR), truyền năng lượng trực tiếp vào photoresist và nền tảng—nhanh, trực tiếp và không phức tạp. Bạn đạt được độ đồng đều trên tấm wafer trong phạm vi ±0.1°C trên vùng hoạt động, đảm bảo các bước bake quan trọng nằm trong giới hạn nhiệt quy định. Thiết bị tương thích với phòng sạch từ Class 1 đến Class 100, đồng thời không sinh ra hạt bụi trong quá trình vận hành. Độ lặp lại nhiệt độ giữ ở ±0.2°C giữa các lô, và bộ gia nhiệt hoạt động liên tục 24/7 mà không có thời gian chết không kế hoạch.
Tại sao nó phù hợp với công việc chúng ta làm
Bộ gia nhiệt này đáp ứng bốn điểm nhiệt chính trong quy trình của chúng ta: sấy wafer, soft bake và hard bake photoresist, đóng gói underfill và đóng rắn encapsulate, và sấy sau khi làm sạch.
Trong quá trình lithography, độ đồng đều chặt chẽ này giữ cho kích thước chiều rộng đường (CD) và hình dạng profile nằm trong thông số kỹ thuật, giúp giảm phế phẩm và hạn chế sửa chữa lại. Trong đóng gói, tốc độ tăng nhiệt nhanh rút ngắn thời gian đóng rắn mà không vượt nhiệt, cải thiện năng suất. Và vì SWIR gia nhiệt trực tiếp thay vì làm nóng buồng, mức tiêu thụ năng lượng giảm.
Dưới đây là các chi tiết bạn cần biết
Việc lắp đặt chủ yếu dựa vào việc phù hợp với kích thước cơ khí của công cụ và vòng làm mát. Chúng tôi cung cấp bản vẽ giao diện và danh sách đầu nối để việc tích hợp diễn ra thuận tiện.
Tuổi thọ emitter được đánh giá là 10,000 Hours. Sau thời gian đó, sự dịch chuyển công suất đầu ra có thể bắt đầu ảnh hưởng đến độ đồng đều nếu bạn không có kế hoạch thay thế. Vì vậy, hãy lên kế hoạch bảo trì trước—đừng chờ đến khi nó phát sinh trên sàn sản xuất.