لیتھوگرافی کے عمل میں، آپ جانتے ہی ہیں کہ حالات کتنے نازک ہوتے ہیں۔ اگر درجہ حرارت میں آدھا ڈگری کا فرق بھی پڑ جائے، تو اس سے وائر لائنوں کی خصوصیات متاثر ہو جاتی ہیں۔ اگر درجہ حرارت بہت زیادہ ہو جائے، تو ریزسٹ مواد اتنا سخت ہو جاتا ہے کہ یہ ڈیولپر کے عمل کو روک دیتا ہے، اور اس طرح ناخواستہ نتائج حاصل ہوتے ہیں۔
اور وہ انفراریڈ لیمپ؟ یہ صرف ہیٹر نہیں ہیں، بلکہ یہ تو پروسیسنگ ٹول ہیں۔
وہ چیزیں جو اصل میں اہم ہیں: ہم لیمپ کو شارٹ-ویو انفراریڈ روشنی کے ارد گرد تیار کرتے ہیں، تاکہ ریزسٹ مواد تیزی سے حرارت جذب کر سکے۔ اس سے درجہ حرارت میں کم سے کم تغیر ہوتا ہے، اور ویفر کی سطح پر درجہ حرارت ±0.1°C کے اندر یکساں رہتا ہے۔ ایمیٹر کو ایک مستحکم سپلائی سسٹم پر رکھا جاتا ہے، تاکہ آؤٹ پٹ یکساں رہے۔ یہ لیمپ کلاس 1–100 کے کلین رومز میں استعمال کے لئے مناسب ہے، اور اس سے کوئی غیر ضروری ذرات پیدا نہیں ہوتے۔ اس لیمپ کی عمر 5,000 گھنٹوں سے زیادہ ہوتی ہے، اور آؤٹ پٹ میں 5% سے بھی کم کمی ہوتی ہے۔ اسے 24/7 بغیر کسی رکاوٹ کے استعمال کیا جا سکتا ہے۔
یہ چیزیں پروسیسنگ عمل میں کیوں اہم ہیں: “سافٹ بیک” عمل سے ریزسٹ مواد کی چپکنے کی خصوصیات بہتر ہوتی ہیں، اور اس سے سولوینٹس بھی خارج ہو جاتے ہیں۔ “ہارڈ بیک” عمل سے ایچ ایچ ماسک کی ساخت مضبوط ہوتی ہے۔ اس لیمپ کی مدد سے ہر بیچ کے لئے درجہ حرارت کو کنٹرول کیا جا سکتا ہے۔ ایک ہی درجہ حرارت پروفائل کی وجہ سے ہر ویفر اور ہر بیچ میں یکساں نتائج حاصل ہوتے ہیں، اور CD کنٹرول اور پروڈکشن کی شرح میں کوئی غلطی نہیں ہوتی۔
توانائی کی کھپت کم ہوتی ہے، کیوں کہ لیمپ صرف ہدف کو گرم کرتا ہے، نہ کہ اس کے ارد گرد کے حصوں کو۔ کم لیمپوں کی ضرورت کی وجہ سے پروسیسنگ میں رکاوٹیں کم ہوتی ہیں، اور فضلہ بھی کم ہوتا ہے۔
جن چیزوں پر توجہ دینی چاہیے: لیمپ کو چیمبر کی ساخت اور کوارٹز ونڈو کی ٹرانسمیشن کرو کے مطابق استعمال کرنا ضروری ہے۔ اگر ایسا نہ کیا جائے، تو ریفلیکشن اور ہاٹ اسپاٹس کی وجہ سے یکسانیت ختم ہو جاتی ہے۔ کنکٹر کی قسم، وولٹیج، اور کولنگ سسٹم کی جانچ ضرور کریں۔
پائرومیٹر اور ایمیٹر کے آؤٹ پٹ کی باقاعدگی سے کیلیبریشن کرنا ضروری ہے۔ لیمپ اپنا کام تو کرتا ہے، لیکن اس کے لئے باقی سسٹم کا درست ہونا ضروری ہے۔