فیبریکیشن لائنوں پر، مصنوعات کی کوالٹی ڈگریوں اور نینومیٹرز کی سطح پر طے ہوتی ہے۔ اگر درجہ حرارت میں آدھا ڈگری کا فرق پیدا ہو جائے، تو اس سے پروڈکٹ کی سطح کی ڈھانچہ بدل سکتا ہے؛ اور کنوکشن اوون کی ہوا کی وجہ سے ذرات تازہ فوٹوریزسٹ فلم پر جم سکتے ہیں۔ اصل سوال یہ نہیں ہے کہ ویفرز کو کیسے خشک کیا جائے، بلکہ یہ ہے کہ اس عمل میں مزید تغیرات کیوں پیدا نہ کیے جائیں۔
تکنیکی لحاظ سے کیا اہم ہے؟
انفراریڈ ہیٹنگ سے توانائی براہِ راست ویفر پر پہنچتی ہے، جس سے سطح اور بیس میٹریل گرم ہو جاتے ہیں، اور ہوا کی نقل و حرکت بہت کم ہوتی ہے۔ اس طرح ویفر کی سطح پر درجہ حرارت کی یکسانیت ±0.1°C تک رہتی ہے، اور فوٹوریزسٹ فلم کو فوری طور پر گرم کیا جا سکتا ہے۔ کنوکشن سسٹم میں گرم ہوا کا استعمال کیا جاتا ہے، جس سے پیچیدہ سطحوں پر بھی گرمی پہنچ سکتی ہے، لیکن اس سے ذرات کی تعداد بڑھ سکتی ہے۔ اپنے تھرمل بجٹ، سائیکل ٹائم، اور استعمال کیے جانے والے میٹریل کی بنیاد پر ہی انفراریڈ ذرائع کا انتخاب کریں۔
کیوں یہ ضروری ہے؟
لیتھوگرافی لائنوں میں، انفراریڈ ہیٹنگ کلاس 1–100 کے صاف کمروں میں بہترین کام کرتی ہے، اور خشک کرنے کے دوران ذرات کی پیداوار کو صفر تک کم کرتی ہے۔ اس طرح ویفر کو تیزی سے گرم کیا جا سکتا ہے، اور فلم میں محلول کی مقدار کم رہتی ہے۔ پیکیجنگ لائنوں میں کنوکشن سسٹم بہترین ہے، کیوں کہ یہاں موٹے ڈائی الیکٹرک مواد اور مولڈ کمپاؤنڈز کو آہستہ اور یکساں طور پر گرم کرنے کی ضرورت ہوتی ہے۔ بہرحال، اگر آلات 24/7 کام کرنے کے لئے بنائے گئے ہیں، تو ویفرز کی پروڈکشن میں کوئی رکاوٹ نہیں آئے گی۔
کون سی تفصیلات اہم ہیں؟
انفراریڈ ہیٹنگ کے لئے مناسب روشنی کی ضرورت ہے، اور ریفلیکٹرز اور درجہ حرارت کو کنٹرول کرنے کے لئے خصوصی انتظامات ضروری ہیں۔ کنوکشن اوونوں میں HEPA گریڈ کے فلٹرز اور باقاعدگی سے ہوا کی نقل و حرکت کو کنٹرول کرنے کی ضرورت ہے۔ انفراریڈ ماڈیول عموماً چھوٹے سائز میں ہوتے ہیں، لہذا پاور، وولٹیج، اور کنکٹرز کی سازگاری کو ضرور چیک کریں۔
اپنی ضروریات کے مطابق ہی طریقہ کا انتخاب کریں: چاہے وہ تھرمل ڈرفٹ ہو یا ذرات کی آلودگی۔