Лампа швидкої термічної обробки (RTP)
На виробничому майданчику ви добре знаєте, як це буває: зміщення температури софт-бейку на півградуса впливає на профіль фото_resисту, і це зміщення...
Оптичний нагрівач для обробки пластин
Out on the fab floor, a 300mm wafer sits, waiting for that soft bake to lock in the photoresist profile. One hot spot, one cold zone, and your...