บนพื้นที่โรงงาน คุณรู้ว่ามันเป็นอย่างไร: การเปลี่ยนอุณหภูมิในการอบซอฟต์เบคเพียงครึ่งองศา สามารถเปลี่ยนแปลงรูปโปรไฟล์ของโฟโตริสต์ และการเปลี่ยนแปลงนี้ส่งผลต่อมิติที่สำคัญได้ งบประมาณความร้อนมีความละเอียดสูงและไม่สามารถผิดพลาดได้
สิ่งที่สำคัญภายในระบบ
เราใช้โคมไฟ RTP ที่ให้ความร้อนด้วยฮาโลเจนช่วงคลื่นสั้นผ่านควอตซ์ความบริสุทธิ์สูง ทำให้พลังงานถึงเร็วและมีทิศทาง ระบบรักษาความสม่ำเสมอของอุณหภูมิระดับเวเฟอร์ไว้ภายใน ±0.1°C ตลอดช่วงกระบวนการ ตั้งแต่การอบโฟโตริสต์ซอฟต์เบคถึงฮาร์ดเบค ความสม่ำเสมอสามารถทำซ้ำได้ในแต่ละรอบยิง และควบคุมแบบปิดวงจรทำให้จุดเซตพอยต์คงที่แม้ภายใต้โหลดการทำงาน
เครื่องนี้ออกแบบสำหรับห้องสะอาดระดับ Class 1–100 โดยไม่มีการสร้างอนุภาคและมีการปล่อยแก๊สน้อย อุปกรณ์ทำงานต่อเนื่อง 24/7 และเราทดสอบมากกว่า 5,000 ชั่วโมงโดยมีการลดลงของผลผลิตน้อยกว่า 5%
เหตุผลที่เรื่องนี้มีผลในพื้นที่ของคุณ
ในกระบวนการลิโธกราฟี อุณหภูมิอบที่เสถียรทำให้มิติที่สำคัญ (CDs) คงที่และควบคุมความหยาบของขอบเส้นได้อย่างแม่นยำ ความสม่ำเสมอที่เคร่งครัดช่วยลดการคัดแยกขอบที่บกพร่องและเพิ่มผลผลิตโดยรวมที่สะอาดขึ้น อัตราการเพิ่มอุณหภูมิที่เร็วช่วยลดเวลาวงจรโดยไม่เพิ่มความเครียดจากการอบในโครงสร้าง และประสิทธิภาพทำให้ต้นทุนการดำเนินงานลดลง
ผลลัพธ์ที่ได้คือการลดความผิดพลาด การลดงานแก้ไข และผลผลิตที่สามารถไว้วางใจได้ สำหรับงานแพ็กเกจจิ้ง ความเสถียรของอุณหภูมิเดียวกันนี้ยังให้การบ่มที่เชื่อถือได้และความแข็งแรงของการยึดเกาะที่มั่นคง ทำให้สายการผลิตเคลื่อนไหวได้ต่อเนื่อง
สิ่งที่คุณควรตั้งค่าให้ถูกต้อง
โคมไฟมีความเข้มสูง ดังนั้นส่วนต่อประสานของห้องอบจึงต้องสอดคล้องกับโคมไฟในแง่การถ่ายเทความร้อน เราจัดเตรียมแบบแปลนส่วนต่อประสานให้ และแนะนำให้ใช้สายจ่ายไฟแยกเฉพาะโดยมีเสถียรภาพแรงดันไฟฟ้าภายใน ±1% ควรวางแผนเวลาการอุ่นเครื่องสั้น ๆ เพื่อให้ถึงสถานะคงที่ในแต่ละรอบสูตรการทำงาน ตั้งค่าอุปกรณ์อย่างถูกต้องเพื่อให้ได้ประสิทธิภาพที่เสถียรพร้อมเวลาหยุดทำงานโดยไม่คาดคิดน้อยที่สุด