ในขั้นตอนการอบวัสดุด้วยเทคโนโลยีลิโธกราฟีนั้น การอบไม่ใช่เพียงแค่การหยุดพักชั่วคราวเท่านั้น แต่ถือเป็นขั้นตอนสำคัญในกระบวนการผลิตด้วย หากอุณหภูมิการอบไม่สม่ำเสมอ ก็จะส่งผลต่อความแม่นยำของความกว้างของเส้นที่สร้างขึ้น และหากการอบไม่สม่ำเสมอ ก็จะเกิดสิ่งสกปรกหรือคราบต่างๆ ขึ้นมา ดังนั้น เมื่อมีข้อจำกัดด้านอุณหภูมิ หลอดไฟสำหรับการอบจึงต้องมีความแม่นยำสูง โดยต้องรักษาอุณหภูมิให้สม่ำเสมอตลอดเวลา โดยไม่มีการเกิดอนุภาคหรือความแปรปรวนใดๆ
ความแม่นยำของรังสีอินฟราเรด: การควบคุมสนามความร้อนในระดับSub-Millimeter
เราออกแบบหลอดไฟสำหรับการอบโดยใช้รังสีอินฟราเรดความยาวคลื่นสั้น เพราะรังสีนี้มีปฏิกิริยาเร็ว และช่วยให้สามารถควบคุมอุณหภูมิได้อย่างแม่นยำ สิ่งนี้ช่วยให้สามารถควบคุมสนามความร้อนในระดับSub-Millimeterได้ ซึ่งช่วยให้ความสม่ำเสมอของอุณหภูมิในบริเวณที่อบเป็นไปอย่างดี ในทางปฏิบัติ สาร Photoresist จะได้รับพลังงานอย่างสม่ำเสมอในแต่ละครั้งที่มีการอบ
ระบบนี้ถูกออกแบบมาให้ใช้งานได้ในห้องปลอดฝุ่นระดับ Class 1–100 โดยมีการเลือกวัสดุและอุปกรณ์ปิดผนึกที่ดีที่สุด เพื่อลดการเกิดอนุภาคให้เหลือน้อยที่สุด นี่คือสิ่งที่จำเป็นสำหรับกระบวนการผลิต
เหตุใดจึงเหมาะสำหรับกระบวนการอบวัสดุด้าน semiconductors
สิ่งที่จำเป็นจริงๆ คือความสม่ำเสมอ ไม่ใช่แค่ความร้อนมากขึ้นเท่านั้น หลอดไฟนี้ช่วยให้สามารถควบคุมอุณหภูมิในการอบได้อย่างแม่นยำ ซึ่งช่วยลดการทำงานซ้ำหรือความผิดพลาดที่เกิดจากความแปรปรวนของอุณหภูมิ นอกจากนี้ การอบยังเกิดขึ้นอย่างรวดเร็ว ซึ่งช่วยลดเวลาในการอบ แต่ก็ไม่ทำให้อุณหภูมิสูงเกินไป
ส่วนอุปกรณ์ควบคุมสภาพแวดล้อมก็ช่วยป้องกันไม่ให้เกิดการออกซิเดชันหรือความชื้น ซึ่งจะส่งผลต่อพฤติกรรมของสาร Photoresist การใช้พลังงานก็ลดลง เพราะหลอดไฟจะทำการอุ่นเฉพาะบริเวณที่ต้องการเท่านั้น และการออกแบบหลอดไฟที่มีอายุการใช้งานยาวนานก็ช่วยให้ไม่ต้องมีการซ่อมแซมบ่อยๆ ผลลัพธ์คือความสม่ำเสมอของขนาดสำคัญของวัสดุ และอัตราการผลิตที่แม่นยำ
ข้อมูลการติดตั้งและการใช้งาน
หลอดไฟเหล่านี้สามารถติดตั้งได้ง่าย แต่คุณจำเป็นต้องมีอุปกรณ์ควบคุมอุณหภูมิที่เหมาะสม และระบบระบายอากาศที่ดี เพื่อให้สามารถควบคุมสภาพแวดล้อมได้อย่างมีประสิทธิภาพ คาดว่าจะใช้เวลาไม่นานในการปรับแต่งหลอดไฟให้เหมาะสมกับวัสดุและสภาพแวดล้อมที่คุณมี
หลอดไฟจะทำงานได้ดีที่สุดเมื่อความดันในห้องและอัตราการไหลของก๊าซอยู่ในช่วงที่กำหนดไว้ หากค่าเหล่านี้เปลี่ยนไป ความสม่ำเสมอของอุณหภูมิก็อาจเปลี่ยนไปได้ แม้ว่าหลอดไฟจะถูกควบคุมอย่างดีก็ตาม โปรดระบุขนาดของวัสดุ ช่วงอุณหภูมิการอบ และระดับความสะอาดของห้องปลอดฝุ่น แล้วเราจะปรับแต่งหลอดไฟให้เหมาะสมตามนั้น