Прекратите тратить время впустую: почему инфракрасное нагревание действительно эффективно
Если вы занимаетесь глубокой обработкой полупроводников, вы знаете, насколько раздражает необходимость ожидания. Долгое время мы использовали метод принудительной конвекции воздуха. Но есть проблема: в вакууме невозможно создать поток горячего воздуха – там вообще нет воздуха. Попытки использовать этот метод в вакуумной камере бесполезны. Поэтому мы перешли на инфракрасное нагревание.
Ожидание больше не нужно. Подумайте, как работают системы, основанные на использовании воздуха: сначала необходимо нагреть воздух, а затем он уже нагревает пластину. Это медленно, и это существенно снижает производительность. Инфракрасные нагреватели избавляют нас от всех этих проблем. Они направляют фотоны прямо на объект нагрева. Никаких посредников, никакого ожидания. Температура достигается за секунды, а не минуты. Если вы работаете целый день, все эти сэкономленные минуты в сумме приводят к значительному увеличению производительности.
Но нельзя просто поместить любой нагреватель в вакуум. Большинство стандартных нагревателей выбрасывают летучие вещества, которые могут попасть на пластину и повредить её. Это настоящий кошмар. Чтобы этого избежать, мы используем нагреватели с высокой степенью чистоты и специальные кварцевые корпуса. Мы также уделяем большое внимание герметичности устройства. Если элементы соединения не являются герметичными, целостность камеры нарушается.
Но есть один недостаток: инфракрасное тепло очень интенсивно. Это хорошо для скорости нагрева, но это создает большую нагрузку на систему охлаждения. Если временная настройка не будет правильной или регулировка мощности будет неточной, температура может превысить заданную值 до того, как вы это заметите.
Необходима надежная система контроля температуры и эффективная система охлаждения. Если игнорировать теплозащиту, тепло начнет распространяться по стенкам камеры, что приведет к деформации элементов оборудования.
В конце концов, речь идет о разумном использовании энергии. Не стоит пытаться нагревать пустое пространство вокруг детали – достаточно нагревать саму деталь.