Сокращение выбросов углерода в камерах для обработки полупроводников с использованием инфракрасного нагрева
Честно говоря, нагрев камеры для работы с полупроводниками обычно является пустой тратой энергии. В большинстве случаев используется резистивный нагрев, что означает необходимость нагрева всей камеры лишь для того, чтобы достичь нужной температуры обрабатываемого изделия. Это крайне неэффективно.
Мы нашли более эффективный способ. С помощью элементов инфракрасного нагрева можно направлять тепло именно туда, где это необходимо. Вместо того чтобы нагревать всю камеру, мы можем нагревать только сам объект обработки.
Энергоэффективность
При работе в вакууме или инертной атмосфере необходимо быстро достигнуть нужной температуры. Здесь на помощь приходит высокая плотность мощности. Поскольку инфракрасное излучение передает тепло через излучение, а не конвекцию, не требуется использовать огромные объемы энергии для нагрева газов, находящихся в камере. Это позволяет сократить время нагрева, а также снизить расходы на электроэнергию.
Качество компонентов
Загрязнения являются серьезной проблемой. Один небрежный шаг может испортить весь продукт. Поэтому мы используем кварцевые корпуса высокой чистоты и вольфрамовые нити. Кварц отлично подходит для этой цели, так как он не выделяет газы при нагреве. Мы также используем специальные покрытия, чтобы тепло действительно проникало в материал, а не отскакивало от его поверхности.
Учитывая ограниченное пространство в таких камерах, мы используем стандартизированные разъемы. Это обеспечивает надежное соединение и предотвращает возникновение электрических разрядов.
Реальность
Переход на инфракрасный нагрев — это преимущество как для планеты, так и для чистых производственных помещений. Это значительно снижает нагрузку на системы отопления и охлаждения. Но это не «все включено» решение. Высокая интенсивность инфракрасного излучения может привести к локальному перегреву. Если не соблюдать правила монтажа, это может привести к повреждению камеры. Также необходим точный контроллер PID. Без него очень легко повредить нити или само изделие.