Como curar as wafers da maneira correta: tudo se resume à reflexão da luz
Quando se trata de curar wafers, é necessário usar calor. Mas não basta apenas ter calor – ele precisa ser direcionado com precisão para a superfície das wafers, a cada vez que isso acontecer.
A maioria das pessoas vê o refletor como apenas um componente do aparelho. Eu vejo-o de outra forma: na verdade, é a ferramenta mais importante do equipamento. Se o refletor não estiver configurado corretamente, você está, na prática, gastando dinheiro para aquecer o chassi da máquina, em vez do produto em si. Isso significa muito desperdício de dinheiro e energia.
Aproveitando ao máximo cada raio de luz
Focamos no chamado “fator de visão”. Em termos simples, garantimos que a lâmpada e a wafe fiquem voltadas uma para a outra. Ao usar substratos revestidos de ouro ou alumínio de alta pureza, podemos fazer com que mais de 95% da radiação infravermelha atinja diretamente a wafe. É como se fosse um foco a laser.
E aqui está o melhor: quando não há desperdício de energia, tudo acontece mais rápido. As wafers atingem a temperatura desejada rapidamente, o que significa que os ciclos de cura são encurtados. De repente, você não precisa mais de fornos enormes que ocupam metade do espaço disponível.
Adaptando-se às fábricas modernas
Se você possui uma fábrica inteligente, quer ter dados confiáveis. Quando o refletor funciona corretamente, as contas se tornam simples: a energia inserida se transforma em calor na superfície da wafe. Sem necessidade de suposições. Isso facilita muito o trabalho do PLC, que pode controlar melhor a temperatura sem enfrentar perdas energéticas.
Criamos esses componentes para serem substituídos facilmente. Mas cuidado: verifique bem o alinhamento. Mesmo uma pequena inclinação pode criar “pontos frios” na wafe. Um pequeno erro pode causar defeitos nas wafers.
O trade-off
Porém, há um custo. Quando se concentra tanto calor, o invólucro de quartzo da lâmpada sofre muito. É preciso verificar se os ventiladores de resfriamento são suficientes para lidar com o calor gerado. Caso contrário, os conectores da lâmpada podem queimar mais cedo do que o esperado. Mantenha-os refrigerados, e estará tudo bem.