Het opwarmen van de verhittingselementen in uw fabriek versnellen
Als u met waferverwerking of CVD werkt, weet u vast al dat de verhittingselementen het hart vormen van het hele proces. Maar hier is het belangrijke punt: in een moderne fabriek kunt u zich geen ‘domme’ verhittingselementen veroorloven.
U heeft verhittingselementen nodig die echt in verbinding staan met uw digitale besturingssysteem. U moet in staat zijn om in real-time te zien wat er gebeurt met de warmtestraling, in plaats van maar te gissen.
De details van UHP-verhittingselementen
Bij het maken van deze lampen is het doel eenvoudig: de warmte precies waar nodig hebben, zonder dat er ongewenste stoffen achterblijven op het substraat.
Daarom gebruiken we hoogwaardig synthetisch kwarts. Dit voorkomt dat er gasen vrijkomen. In een schone ruimte is dit een fundamentele eis.
Als u werkt met 300mm grote wafers, heeft u waarschijnlijk veel vermogen nodig. We gebruiken kortegolfröntgenstraling, omdat deze snel door het materiaal heen dringt. Hierdoor wordt de tijd die nodig is om het proces te starten verkort.
Stoppen met gissen, beginnen met monitoren
Industry 4.0 is een ingewikkeld begrip, maar voor ons betekent het simpelweg dat we gegevens gebruiken om het leven gemakkelijker te maken.
We sluiten deze verhittingselementen aan op PLC-bestuurde systemen, zodat u de spanning en het vermogensverbruik in de gaten kunt houden. Dat is erg handig. In plaats van lampen op basis van een kalender te vervangen – wat meestal tijdverspilling is – kunt u zien wanneer een lamp echt begint te verslechteren. U kunt ze dan direct vervangen, voordat ze fout gaan. Voorspellende vervanging.
Bovendien kunt u de warmtestraling over het oppervlak van de wafer in de gaten houden. Hierdoor ontstaat minder afval en minder problemen.
De nadelen die u moet kennen
Laten we eerlijk zijn: hoge-kwants UHP-lampen genereren veel warmte, maar ze hebben ook veel energie nodig.
Controleer uw bedrading goed. Zorg ervoor dat uw connectoren het piekvermogen aankunnen, anders zal de spanning dalen, waardoor de resultaten worden beïnvloed. Vergeet ook niet om rekening te houden met de koeling. Als uw systeem de omringende hitte niet kan verwerken, zal de procestemperatuur gaan stijgen.
We hebben deze lampen ontworpen als vervanging voor de lampen die u al heeft. Zorg er alleen voor dat de golflengte overeenkomt en dat de zuiverheid van het kwarts op het juiste niveau ligt.
Als u deze twee punten goed regelt, zal het digitale systeem zich om de rest bekommeren.