Op de lithografieafdeling is de droogtijd geen simpele pauze – het is eerder een belangrijk keerpunt in het proces. Als de temperatuur tijdens het drogen niet constant blijft, zal dat zich vertalen in problemen met de breedte van de lijnen op het chipoppervlak. Als de droogtijd niet uniform is, ontstaan er ongewenste afzettingen op het oppervlak van de chip. Wanneer de thermische omstandigheden nauwkeurig beheerd moeten worden, moet de lamp dag na dag een constante temperatuur behouden, zonder dat er extra deeltjes of variaties ontstaan.
Infrarode precisie: controle van het thermische veld op submillimeterniveau
We hebben de lamp ontworpen met behulp van kortegolflengte-infraroodverwarming, omdat deze snel reageert en rechtstreeks controle over de temperatuur mogelijk maakt. Hierdoor wordt het thermische veld op submillimeterniveau gereguleerd, zodat de uniformiteit over de hele chip behouden blijft. In werkelijkheid zorgt dit voor een consistente energieoverdracht van de lamp naar de photoresist, van batch tot batch.
Het systeem is ontworpen voor gebruik in schone kamers van klasse 1–100. De gebruikte materialen en sluitingen zorgen ervoor dat er zo min mogelijk deeltjes vrijkomen. Dat is precies wat nodig is voor het proces.
Waarom dit geschikt is voor het droogproces van semiconductoren
Wat hier echt nodig is, is geen meer hitte – maar juist consistentie. De lamp houdt de temperatuur tijdens het drogen binnen strenge toleranties, waardoor er minder herwerk nodig is en er minder problemen optreden door thermische schommelingen. De opwarmtijd is kort, waardoor de totale tijd die nodig is om het proces af te ronden verkort wordt. Bovendien voorkomt de gecontroleerde atmosfeer dat oxidatie en vocht het gedrag van de photoresist beïnvloeden. De energieverbruik wordt verminderd, omdat de lamp alleen het gewenste gebied verwarmt met een hoge efficiëntie. De lange levensduur van de lamp zorgt er bovendien voor dat er minder frequent onderhoud nodig is. Het resultaat is stabiele prestaties en voorspelbare opbrengsten.
Installatie- en bedrijfsinformatie
De lamp kan gemakkelijk geïntegreerd worden, maar u hebt wel passende thermische installaties en goede ventilatie nodig om de atmosfeer goed te kunnen beheersen. Er is een korte tijd nodig om de lamp in te stellen op uw specifieke behoeften. De lamp presteert het best wanneer de druk in de kamer en de gasstroom binnen de gevraagde grenzen blijven. Als deze waarden afwijken, kan de uniformiteit toch veranderen, zelfs als de lamp goed wordt gecontroleerd. Geef ons aan welke grootte chip u wilt gebruiken, wat de gewenste droogtemperatuur is en in welke klasse schone kamer u werkt. We zullen de configuratie dan hierop afstemmen.