ファブの乾燥工程におけるほこりの問題を解決する方法
もしクラス100のクリーンルームを運営しているのであれば、ご存知の通り、わずかなほこりやガスが発生するだけで、作業した製品は台無しになってしまいます。一般的な加熱素子では、このような状況に対処するのは困難です。それらは剥がれたり、揮発性物質を漏出させたりしてしまいます。
そのため、私たちはIRランプとして高純度の合成石英を使用しています。これは化学的に不活性であり、つまり何とも反応しないということです。そうすれば、ウェーハはきれいなままで、基材も純粋な状態を保てます。それだけです。
石英が重要な理由
高純度のシリカを使用するのは、耐久性が高いからです。急速な乾燥処理を行う際、ほとんどの材料は割れてしまいますが、この素材は均等に膨張します。また、有機系の結合剤や安価な充填剤も一切含まれていません。なぜかというと、ランプが動作温度に達した瞬間に、微細なほこりや煙が表面に付着するのを避けたいからです。
常に清潔を維持するための工夫
実際の鍵は、密封性にあります。特殊な電極と真空封止された構造を用いることで、フィラメントの酸化物がクリーンルーム内に漏れ出ることがありません。安価な接着剤や手抜きは一切ありません。すべてが溶接されているか、機械的に固定されています。
ただし、注意点があります。電力密度には気をつけてください。高ワット数のIRランプは、狭い空間に多くの熱を集中させます。十分な換気がない場合、支持枠が変形してしまう可能性があります。必ず、冷却ファンがランプ全体の熱負荷に対応できるか確認してください。
ワークフローに組み込む方法
最も良い点は、これらのランプは、通常のIRヒーターと同様に簡単に交換可能だということです。短波放射を利用して、基材の内部から乾燥させます。非常に速いです。つまり、クリーンルームの環境を損なう心配なしに、より多くの製品を処理できるのです。
ちなみに、安定したPIDコントローラーを使用することをお勧めします。そうすれば、フィラメントが早期に劣化するのを防げます。