熱の無駄遣いを止めよう：なぜ金コーティングされたIRランプが効果的なのか
ウェーハ製造の現場では、物理学上の課題と常に戦っている必要があります。基板上には熱が必要ですが、他の部品にエネルギーが漏れてしまっては困ります。これは本当にもったいないことです。だからこそ、私たちは金コーティングされた反射器を備えた認定済みのIR硬化ランプを使用しているのです。
その原理は単純です。熱がケース内に戻るのを防ぎ、正しくウェーハ上に届けるのです。
秘密は金にあるのです。
アルミニウム製の反射器でも十分機能しますが、近赤外線に関しては金の方が優れています。反射器に薄い金膜を加えることで、フィラメントから出るほぼすべてのエネルギーが前方に向かうようになります。
これにより、集中的なエネルギー帯が生まれ、システムの消費電力を増やすことなく、より高い熱密度を得ることができます。つまり、より効率的なのです。
しかし、問題点もあります。
こんなに多くのエネルギーを狭い空間に集中させると、ランプのケースに大きな負担がかかります。普通のケースにそのまま入れても意味がありません。冷却システムが十分でなければ、フィラメントが早く壊れてしまいます。実際、反射器の形状がウェーハの直径に完璧に合っているときに最も効果的です。隙間がなく、エネルギーが外部に漏れないのです。
最良の点は、これらのランプは、既存のIRヒーターと交換可能だということです。金コーティングが効果的に作用するため、通常、目的の温度に到達するのがずっと早くなります。つまり、処理時間が短縮されます。私たちは、長時間稼働する製造環境に耐えられるように、このランプを設計しています。
もし、部屋に熱が漏れているように感じたり、ウェーハには熱がこもっていないのに機械が熱くなっている場合は、金コーティングされたランプに変更するのが、エネルギーを本来の場所に戻す最速の方法です。