もう、温度を推測するのはやめましょう。スマートな赤外線システムを使えば、ファブでの作業が効率的に進みます。
もし近代的なファブを建設しようとしているのであれば、単に「温度を上げる」というだけでは不十分だということがお分かりでしょう。本当の効果は、加熱を単なる作業としてではなく、データ収集の手段として捉えるときに得られます。
そこで役立つのがスマートな赤外線システムです。これらは単に物を温めるためだけに使われるのではなく、部品の状態をリアルタイムで把握するために利用されます。
加熱状態を把握する
ほとんどのヒーターは、実際には何も見えないのです。ダイヤルに数値を設定し、運を天に任せるしかありません。これはかなりのリスクが伴います。
私たちは異なる方法を採用しています。赤外線センサーをパッケージや加熱装置に直接取り付けることで、加熱時の温度分布をリアルタイムで確認できます。このセンサーをPLCに接続すれば、基板の温度分布が即座に表示されます。もう、温度上昇にどれくらい時間がかかるかを推測する必要はありません。画面を見ればすぐにわかります。
なぜ赤外線か？（触るのは良くないから）
クリーンルームでは、プローブがウェーハやパッケージ材料に触れることは絶対に避けるべきです。それは汚染の原因になります。
赤外線は、何にも触れないため優れています。短波・中波帯域を利用することで、センサーはオーブンの壁から反射する熱ではなく、材料自体の特性を検出できます。これにより、清潔で迅速な測定が可能になり、製品にも影響を与えません。
ただし、完璧な環境が必要
ただし、スマートな赤外線システムを使うには、少し手間がかかります。専用のコントローラーや、遮蔽されたケーブルが必要です。
高出力のランプは多くのEMIを発生させます。安価なケーブルを使うと、データにノイズや不安定な値が混入してしまいます。トラブルシューティングが困難になるので、最初から適切なケーブルを使用することが大切です。
切り替えるだけでOK
最良な点は、全ての設備を取り壊す必要がないということです。これらのシステムは、既存の設備にそのまま代替できるように設計されています。
古い、非スマートなランプをスマートセンサーを搭載したものに交換するだけで、手書きの記録から自動化されたデジタル記録へと移行できます。半導体製造においては、これは大きな利点です。部品が正しく加熱されているかどうかを疑う必要がなくなり、デジタル記録によってその証明ができます。