Hentikan pemborosan waktu: Mengapa pemanasan menggunakan radiasi inframerah benar-benar efektif
Jika Anda melakukan proses pemrosesan semikonduktor yang kompleks, pasti Anda mengenal betul rasa frustrasi akibat harus menunggu lama.
Selama ini, kita bergantung pada sistem konveksi udara. Namun, masalahnya adalah udara tidak dapat diedarkan di dalam vakum. Di sana tidak ada udara sama sekali. Mencoba menggunakan sistem konveksi di dalam ruang vakum merupakan hal yang mustahil. Itulah sebabnya kita beralih ke metode pemanasan menggunakan radiasi inframerah.
Waktu tunggu kini berakhir.
Coba pikirkan bagaimana cara kerja sistem berbasis udara. Anda perlu memanaskan udara terlebih dahulu, lalu udara tersebut akan memanaskan wafer. Proses ini sangat lambat, dan hal ini jelas menghambat produktivitas serta menciptakan hambatan besar dalam proses produksi.
Pemanas inframerah menghindari semua hal tersebut. Ia memancarkan foton langsung ke permukaan benda yang dipanaskan. Tidak ada perantara, dan tidak perlu menunggu. Suhu yang diinginkan dapat dicapai dalam beberapa detik saja, bukan menit. Jika Anda bekerja sepanjang hari, waktu yang dihemat tersebut akan menjadi manfaat yang besar bagi efisiensi produksi.
Namun, Anda tidak bisa sembarangan menggunakan pemanas di dalam vakum. Sebagian besar pemanas standar mengeluarkan gas berbahaya, yang bisa merusak wafer. Itu merupakan masalah serius. Untuk menghindarinya, kita menggunakan filamen berkualitas tinggi dan selubung khusus dari kuarsa. Kita juga sangat memperhatikan segi keamanan, karena jika komponen-komponen tersebut tidak tahan terhadap tekanan vakum, maka integritas ruang vakum akan terganggu.
Namun, ada satu hal yang perlu diperhatikan: radiasi inframerah memiliki intensitas yang tinggi. Hal ini tentu bagus untuk meningkatkan kecepatan pemanasan, tetapi juga memberikan tekanan besar pada sistem pendingin. Jika pengaturan waktu pemanasan atau modulasi daya tidak tepat, suhu akan melebihi batas yang diinginkan sebelum Anda menyadarinya.
Anda membutuhkan sistem kontrol PID yang baik, serta sistem pendingin yang mampu menangani panas yang dihasilkan. Jika Anda mengabaikan aspek perlindungan termal, panas akan merambat ke dinding ruang vakum, sehingga peralatan yang digunakan akan rusak.
Pada akhirnya, yang penting adalah menggunakan energi secara bijaksana. Jangan coba memanaskan ruang kosong di sekitar benda yang dipanaskan, tetapi panaskan saja benda tersebut secara langsung.