वेफर को सही तापमान पर रखना (ऊर्जा की बर्बादी के बिना)
स्वच्छ कक्ष में, यदि वेफर का तापमान परिवहन के दौरान कम हो जाता है, तो इससे उत्पादन प्रक्रिया में बहुत समस्याएँ आती हैं। इसीलिए हम ट्रॉली-हीटरों का उपयोग करते हैं। लेकिन वास्तविक समस्या यह है कि यह इस बात पर निर्भर नहीं है कि आप कितनी ऊष्मा पैदा कर सकते हैं… बल्कि यह इस बात पर निर्भर है कि ऊष्मा वास्तव में वेफर तक पहुँचे, न कि केवल धातु के ढाँचे को ही गर्म करे।
हम सोने का उपयोग क्यों करते हैं?
अधिकांश लोग एल्यूमीनियम रिफ्लेक्टरों का उपयोग करते हैं, लेकिन ऐसे रिफ्लेक्टर बहुत अधिक इन्फ्रारेड ऊर्जा को अवशोषित कर लेते हैं। हमने उच्च-शुद्धता वाले सोने के कोटिंगों का उपयोग किया, क्योंकि ये 98% तक ऊर्जा को परावर्तित करते हैं।
इसे ऊष्मा के लिए एक “दर्पण” के रूप में ही सोचें… ऊर्जा हर दिशा में न फैलकर, एक ही दिशा में जाती है। इससे हीटर एक केंद्रित किरण बन जाता है, और प्रत्येक वाट ऊर्जा वेफर को गर्म करने में ही उपयोग होती है।
गति एवं “हॉट स्पॉट” समस्या
हम उच्च-वाटेज वाली शॉर्ट-वेव लैंपों का उपयोग करते हैं, क्योंकि ये तेजी से लक्ष्य तक पहुँचते हैं। लेकिन एक समस्या यह है कि यदि सोने की कोटिंग पूरी तरह समान न हो, तो वेफर पर “हॉट स्पॉट” बन जाते हैं। इसीलिए हम इस प्रक्रिया पर बहुत ध्यान देते हैं… हमें ऐसी कोटिंग चाहिए जिससे वेफर के संपूर्ण व्यास पर तापमान समान रहे।
त्याग: सावधानी से ही उपयोग करें
सोना ऊष्मा को केंद्रित करने में बेहतरीन है… लेकिन इसका उपयोग करते समय सावधान रहना आवश्यक है। ऐसी सतहों को कठोर सफाई सामग्रियों से साफ नहीं किया जा सकता… एक छोटा सा खरोंच या रासायनिक अवशेष भी इसकी परावर्तन क्षमता को कम कर देते हैं। ऐसी स्थिति में लैंपों को तापमान को बनाए रखने हेतु दोगुनी मेहनत करनी पड़ती है… और फिलामेंट भी जल्दी ही खराब हो जाते हैं।
एक अंतिम सलाह: अपने PID कंट्रोलरों की जाँच जरूर करें।
चूँकि सोने की वजह से सिस्टम मानक हीटरों की तुलना में बहुत तेजी से प्रतिक्रिया देता है, इसलिए तापमान भी तेजी से बदल जाता है। आपको इन पैरामीटरों को ठीक रखना ही होगा… वरना वेफर खराब हो सकते हैं।