अपने फैब में हीटिंग प्रणाली को तेज़ गति से कार्य करने में सहायता करना
यदि आप वेफर प्रसंस्करण या CVD प्रक्रियाओं का उपयोग कर रहे हैं, तो आपको पता ही होगा कि हीटर लैंप ही पूरी प्रक्रिया का मुख्य हिस्सा हैं। लेकिन आधुनिक फैबों में “अक्षम” हीटिंग तत्वों का उपयोग करना संभव ही नहीं है।
आपको ऐसे हीट स्रोतों की आवश्यकता है, जो आपके डिजिटल नियंत्रण प्रणालियों के साथ संवाद कर सकें। आपको वास्तविक समय में ही थर्मल मापदंडों की जानकारी होनी चाहिए; अनुमान लगाने की आवश्यकता ही नहीं है।
UHP हीटरों की विशेषताएँ
जब हम ऐसे हीटर बनाते हैं, तो हमारा उद्देश्य बहुत ही सरल होता है – ऊष्मा को ठीक उसी जगह पहुँचाना, जहाँ उसकी आवश्यकता है, एवं सब्सट्रेट पर कोई अतिरिक्त ऊष्मा न छोड़ना।
इसीलिए हम उच्च गुणवत्ता वाले सिंथेटिक क्वार्ट्ज का उपयोग करते हैं। यह ठंडी हवा को बाहर रोकता है… और यह तो क्लीनरूम में आवश्यक ही है।
यदि आप 300 मिमी आकार के वेफरों का उपयोग कर रहे हैं, तो आपको उच्च ऊर्जा घनत्व की आवश्यकता होगी। हम शॉर्टवेव इन्फ्रारेड (SWIR) का उपयोग करते हैं… क्योंकि यह सामग्री के भीतर तेज़ी से घुस जाता है… इससे प्रक्रिया में लगने वाला समय कम हो जाता है।
अनुमान लगाने के बजाय ट्रैकिंग करें
“इंडस्ट्री 4.0” तो एक जटिल शब्द है… लेकिन हमारे लिए इसका मतलब तो डेटा का उपयोग करके काम को आसान बनाना ही है।
हम इन हीटरों को PLC-नियंत्रित ग्रिडों से जोड़ते हैं… ताकि आप वोल्टेज एवं ऊर्जा खपत पर नज़र रख सकें। यह तो बहुत ही उपयोगी है… क्योंकि ऐसे में आपको लैंपों को नियत समय पर ही बदलने की आवश्यकता नहीं है… बल्कि आप तो यह भी जान सकते हैं कि कौन-सा लैंप खराब होने वाला है।
आप उन लैंपों को खराब होने से ठीक पहले ही बदल सकते हैं… पूर्वानुमानित रीप्लेसमेंट.
इसके अलावा, आप वेफर पर होने वाले थर्मल प्रभावों का भी विश्लेषण कर सकते हैं… इससे अपशिष्ट कम हो जाता है… एवं समस्याएँ भी कम हो जाती हैं।
आपको जानने आवश्यक विकल्प/चुनौतियाँ
अब, वास्तविकता यह है कि उच्च-वाटेज वाले UHP लैंप बहुत ही अधिक ऊष्मा उत्पन्न करते हैं… लेकिन उन्हें बहुत ही अधिक ऊर्जा की आवश्यकता होती है।
अपने वायरिंग सिस्टम की जाँच करें… यह सुनिश्चित करें कि आपके कनेक्टर उच्च धारा को संभाल सकें… वरना वोल्टेज में गिरावट आ जाएगी… जिससे आपके परिणाम प्रभावित होंगे। एवं ठंडक प्रणाली को भी नज़रअंदाज़ न करें… यदि आपका सिस्टम वातावरणीय ऊष्मा को संभाल नहीं पाता, तो प्रक्रिया का तापमान बढ़ने लगेगा।
हमने इन हीटरों को ऐसे ही डिज़ाइन किया है… कि वे आपके मौजूदा उपकरणों के स्थान पर ही उपयोग में आ सकें… बस यह सुनिश्चित करें कि तरंगदैर्घ्य सही हो… एवं क्वार्ट्ज की गुणवत्ता भी उचित हो।
यदि आप इन दोनों बातों को सही रखें, तो डिजिटल प्रणाली ही बाकी सब कुछ संभाल लेगी।