वेफरों को सही तरीके से सुखाना: यह सब परावर्तन पर ही निर्भर है
जब आप वेफरों को सुखाते हैं, तो आपको गर्मी की आवश्यकता होती है। लेकिन आपको केवल “गर्मी” ही नहीं, बल्कि ऐसी गर्मी चाहिए जो हर बार वेफर की सतह पर सही जगह पर पहुँचे।
ज्यादातर लोग रिफ्लेक्टर को बस एक साधारण उपकरण ही मानते हैं। लेकिन मेरे लिए यह तो सबसे महत्वपूर्ण उपकरण है। यदि रिफ्लेक्टर सही तरीके से काम न करे, तो आप अपनी मशीन के चेसिस को ही गर्म कर रहे हैं, न कि वेफर को। यह तो बेकार में ही पैसे एवं ऊर्जा का अपव्यय है।
हर किरण का सदुपयोग
हम “व्यू फैक्टर” नामक चीज़ पर ध्यान देते हैं। सरल शब्दों में, हम यह सुनिश्चित करते हैं कि लैंप एवं वेफर एक-दूसरे की ओर ही देख रहे हों।
सोने से लेपित सब्सट्रेट या उच्च शुद्धता वाले एल्यूमिनियम का उपयोग करके, हम 95% तक के शॉर्ट-वेव आईआर विकिरण को सीधे वेफर पर ही भेज सकते हैं। यह तो लेजर की तरह ही है।
और सबसे अच्छी बात यह है कि जब ऊर्जा का अपव्यय न हो, तो सब कुछ तेज़ी से हो जाता है। वेफर जल्दी ही वांछित तापमान तक पहुँच जाता है, जिससे सुखाने की प्रक्रिया भी तेज़ हो जाती है। ऐसे में आपको बड़े ओवनों की आवश्यकता ही नहीं पड़ती।
आधुनिक कारखानों में इसका उपयोग
यदि आप एक स्मार्ट कारखाना चला रहे हैं, तो आपको ऐसे डेटा ही चाहिए जिन पर आप भरोसा कर सकें।
जब रिफ्लेक्टर सही तरीके से काम करता है, तो सब कुछ आसान हो जाता है। लैंप से आने वाली ऊर्जा सीधे वेफर की सतह पर ही पहुँचती है। ऐसे में आपको कोई अनुमान लगाने की आवश्यकता ही नहीं पड़ती। इससे आपके PLC को भी काम करने में आसानी होती है।
हमने इन उपकरणों को ऐसे ही डिज़ाइन किया है कि इन्हें आसानी से ही बदला जा सके। लेकिन एक बात ध्यान रखें: रिफ्लेक्टर का सही तरीके से संरेखण आवश्यक है। थोड़ा सा भी विचलन होने से वेफर पर “कोल्ड स्पॉट” बन जाते हैं। ऐसे में आपको खराब वेफर ही मिलेंगे।
संतुलन
हालाँकि, इसमें एक नुकसान भी है।
जब आप इतनी अधिक गर्मी पैदा करते हैं, तो लैंप का क्वार्ट्ज आवरण क्षतिग्रस्त हो जाता है। यह बहुत ही नुकसानदायक है।
आपको अपने कूलिंग फैनों की जाँच अवश्य करनी चाहिए। यदि वे लैंप के आसपास जमा होने वाली गर्मी को संभाल नहीं पाते, तो लैंप जल्दी ही खराब हो जाएगा। इसलिए उन्हें ठंडा रखना आवश्यक है।