فرستندههای مادون قرمز با سرپوش سرامیکی: کاهش هزینههای زمانی در فرآیندهای پردازش عمیق نیمههادیها
ما این فرستندههای مادون قرمز را به یک دلیل خاص ساختیم: جایگزین کردن سیستم گرمایش با هوای داغ در فرآیندهای پردازش عمیق نیمههادیها، و در نتیجه کاهش زمانی که برای انتظار صرف میشود.
تفاوت این روش با روش استفاده از هوای داغ این است که در روش مادون قرمز، انرژی مستقیماً به سطح مورد نظر برخورد میکند؛ بنابراین زمان انجام کار کوتاهتر میشود.
جزئیات فنی: توان، ولتاژ و ابعاد
این فرستنده دارای توان بالایی است؛ از ولتاژ ۴۰۰ ولت برای کارکرد استفاده میکند و ۲۵۰۰ وات انرژی را در یک لوله ۳۰۰ میلیمتری منتشر میکند.
چرا ۴۰۰ ولت؟ چون این مقدار ولتاژ باعث کاهش جریان الکتریکی میشود؛ در نتیجه سیستمهای کابلکشی و اتصالات سادهتر میشوند. اما این توان بالا نیازمند یک رابط الکتریکی محکم است.
ابعاد ۳۰۰ میلیمتری لوله نیز باعث ایجاد یک منطقه گرمایی متمرکز میشود؛ بنابراین میتوانید شدت گرما مورد نیاز خود را داشته باشید، بدون اینکه ابعاد دستگاه افزایش یابد.
مواد و طراحی: هالوژن، پوشش و اتصالات
در داخل این فرستنده، یک عنصر هالوژنی درون یک لوله کوارتزی قرار دارد؛ این عنصر به سرعت واکنش نشان میدهد.
سپس این فرستنده با یک سرپوش سرامیکی پوشانده میشود؛ این سرپوش میتواند در برابر شوکهای حرارتی مقاومت کند. همچنین، این سرپوش باعث استقرار اتصالات الکتریکی میشود، حتی زمانی که دستگاه گرم و سرد میشود.
لوله نیز دارای پوشش ویژهای است که به تمرکز انرژی مادون قرمز کمک میکند و باعث ثبات درجه حرارت میشود.
برای اتصال، از کانکتور R7s استفاده شده است؛ این کانکتور از کیفیت صنعتی بالایی برخوردار است و امکان جایگزینی آسان دستگاه را فراهم میکند.
کاربردها و مزایا: فرآیندهای پردازش عمیق نیمههادیها
در فرآیندهای پردازش عمیق نیمههادیها، زمان لازم برای گرم کردن سطوح مورد نظر، یکی از موانع اصلی است.
با استفاده از این فرستنده، میتوانید ویفرها و سطوح مورد نظر را مستقیماً گرم کنید؛ دیگر نیازی نیست کل اتاق را ابتدا گرم کنید. راهاندازی دستگاه سریع است و افزایش دما نیز فوری اتفاق میافتد.
همچنین، سرپوش سرامیکی باعث میشود که دستگاه در شرایط دشوار نیز کارآمد باقی بماند.
البته، این فرستنده ۲۵۰۰ وات انرژی تولید میکند؛ بنابراین سیستم خنککننده دستگاه باید به خوبی تنظیم شده باشد تا بتواند افزایش دما را مدیریت کند.
مزیت این روش این است که نیاز به تعمیرات کمتری وجود دارد؛ در نتیجه دستگاه بیشتری در حالت کاری باقی میماند.