V prostředí litografie víte, jak to chodí. I malá změna teploty o půl stupně může narušit hustotu liniových struktur na polovodičovém destičce. Příliš vysoká teplota zase způsobí, že rezistentní vrstva bude příliš tvrdá a bude odolávat odbourávacímu prostředku – výsledkem budou nežádoucí efekty.
A ty infračervené lampy? Nejsou to jen topné zařízení. Jsou to prostě nástroje určené k procesním účelům.
Co je opravdu důležité Lampu navrhujeme tak, aby vydávala krátkovlnné infrazraké světlo – tak, aby rezistentní vrstva absorbovala teplo rychle a rovnoměrně. To umožňuje rychlé zahřátí, minimální časové zpoždění a rovnoměrnost teploty na celé ploše destičky v rozmezí ±0,1 °C. Výbojka je umístěna na stabilizovaném zdroji napětí, aby byl výstup konzistentní. Konstrukce lampy je určena pro použití v prostorách s úrovní čistoty 1–100, bez jakéhokoli vzniku částic. Lampa může fungovat více než 5 000 hodin s poklesem výstupu menším než 5 %, a to nepřetržitě 24/7 bez neočekávaných přestávek.
Proč je to důležité v praxi Mírné zahřátí zajišťuje správné přilnutí rezistentní vrstvy a odstraňuje rozpouštědla. Vyšší teplota zase zajišťuje stabilitu masky používané při leptání. S touto lampou můžete kontrolovat teplotu v každé várce. Stejný teplotní profil se opakuje u každé destičky a u každé várky, takže kontrola kvality a výtěžnost již není otázkou odhadů.
Spotřeba energie klesá, protože lampa zahřívá samotný cíl, nikoliv okolní konstrukci. Méně výměn lamp znamená méně přerušení procesu a méně odpadu.
Na co si dát pozor Je potřeba ladit lampu tak, aby odpovídala geometrii komory a křivce průchodnosti kvartového skla. V opačném případě mohou reflexe a „horká místa“ narušit rovnoměrnost. Zkontrolujte také typ konektoru, napětí a cestu chlazení v souladu s vaším vybavením.
Plánujte pravidelnou kalibraci pyrometru a výstupu výbojky. Lampa bude fungovat správně, ale pouze tehdy, když je celý systém správně naladěn.