সময় নষ্ট করা বন্ধ করুন: ভ্যাকুয়াম আইআর হিটিং কেন কার্যকর?
যদি আপনি সেমিকন্ডাক্টরগুলোর জন্য গভীর প্রক্রিয়াকরণ করছেন, তাহলে অপেক্ষা করার ধৈর্যহীনতাটা আপনি নিশ্চয়ই জানেন।
দীর্ঘদিন ধরে আমরা ফোর্সড এয়ার কনভেকশন পদ্ধতি ব্যবহার করে আসছি। কিন্তু সমস্যা হলো—ভ্যাকুয়ামে গরম বাতাস পাঠানো সম্ভব নয়; কারণ সেখানে কোনো বাতাস নেই। ভ্যাকুয়াম চেম্বারে কনভেকশন পদ্ধতি ব্যবহার করা অর্থহীন। এজন্যই আমরা ইনফ্রারেড (IR) হিটিং পদ্ধতি ব্যবহার করি।
অপেক্ষা করার দরকার নেই।
এয়ার-ভিত্তিক সিস্টেমগুলো কীভাবে কাজ করে তা ভাবুন। প্রথমে বাতাসকে উত্তপ্ত করতে হয়; তারপর সেই উত্তপ্ত বাতাসটি ওয়েফারকে উত্তপ্ত করে। এটা খুবই ধীর প্রক্রিয়া। এর ফলে আপনার উৎপাদনশীলতা কমে যায়, আর দিনের কাজে বিরাট বাধা সৃষ্টি হয়।
কিন্তু IR হিটারগুলো এসব ঝামেলা এড়িয়ে যায়। এগুলো ফোটনগুলোকে সরাসরি ওয়েফারের উপর পাঠায়। কোনো মধ্যবর্তী উপাদান নেই; কোনো অপেক্ষাও নেই। মিনিটের পরিবর্তে কয়েক সেকেন্ডের মধ্যেই আপনি কাঙ্ক্ষিত তাপমাত্রায় পৌঁছান। যখন আপনি সারাদিন ধরে কাজ করেন, তখন এই সময়গুলো মিলে বিপুল পরিমাণ অতিরিক্ত উৎপাদন সম্ভব হয়।
কিন্তু যেকোনো হিটারকে ভ্যাকুয়ামে ব্যবহার করা যায় না।
বেশিরভাগ স্ট্যান্ডার্ড হিটারগুলো “গ্যাস নির্গত” করে। এর ফলে বিভিন্ন ধরনের বাষ্প ওয়েফারের উপর পড়ে সবকিছু নষ্ট করে দেয়। এটা একটি ভয়াবহ সমস্যা। এটা এড়াতে আমরা উচ্চ-বিশুদ্ধতার ফিলামেন্ট ও বিশেষ ধরনের কোয়ার্টজ আবরণ ব্যবহার করি। সিলিংগুলো নিয়েও আমরা খুব মনোযোগী। যদি ফিডথ্রুগুলো ভ্যাকুয়াম-সংগত না হয়, তাহলে চেম্বারের নিরাপত্তা নষ্ট হয়ে যায়।
তবে এখানে একটি সমস্যা রয়েছে।
IR হিট খুবই তীব্র। এর ফলে আপনার কুলিং সিস্টেমের উপর বিরাট চাপ পড়ে। যদি শাটার টাইমিং ঠিক না হয় বা পাওয়ার মডুলেশন ঠিক না হয়, তাহলে আপনি নিজেই বুঝতে পারার আগেই তাপমাত্রা বেড়ে যাবে।
আপনার দরকার একটি ভালো PID কন্ট্রোল সিস্টেম এবং এমন একটি কুলিং সিস্টেম, যা এই তাপকে সামলাতে পারে। যদি থার্মাল শিল্ডিং না থাকে, তাহলে তাপটি চেম্বারের দেয়ালগুলোতে চলে যায়, আর আপনার ফিক্সচারগুলো বিকৃত হয়ে যায়।
অবশেষে, এটা হলো শক্তি ব্যবহারের ব্যাপার। অপ্রয়োজনীয়ভাবে খালি জায়গাগুলোকে উত্তপ্ত করার চেষ্টা না করে, শুধুমাত্র ওয়েফারটিকেই উত্তপ্ত করুন।