যেই মাইক্রো LED ওয়েফারটি পরিষ্কার হয়ে বেরিয়ে আসে, ঠিক তখনই সময় চলতে শুরু হয়। অবশিষ্ট আর্দ্রতা ও তাপীয় প্রভাবগুলো দ্রুত ওয়েফারের গুণমানকে ক্ষতিগ্রস্ত করে। ফটোরেজিস্টকে নির্দিষ্ট তাপমাত্রায় রাখা প্রয়োজন; অন্যথায় ওয়েফারের লাইনগুলোর গুণমান কমে যাবে। ড্রায়িং হিটারটি এই নির্দিষ্ট তাপমাত্রা বজায় রাখতে হবে, আর একই সাথে কোনো ধরনের কণা উৎপন্ন না হওয়া উচিত।
এই হিটারটির কাজ হলো নির্দিষ্ট তাপমাত্রা বজায় রাখা, দ্রুত পুনরুদ্ধার করা এবং পরিষ্কার অবস্থায় থাকা। আমরা আমাদের মাইক্রো LED ওয়েফার ড্রায়িং হিটারটিকে কোয়ার্টজ-আইসোলেটেড চেম্বারে তৈরি করেছি; এতে ওয়েফারটিকে দ্রুত নির্দিষ্ট তাপমাত্রায় নিয়ে আসা যায়, আর সেই তাপমাত্রা বজায় থাকে। ওয়েফারের সক্রিয় অঞ্চলগুলোতে তাপমাত্রার ভিন্নতা ±0.1°C এর মধ্যে থাকে।
এটি ক্লাস 1–100 ক্লিনরুম অবস্থায় ব্যবহারের জন্য ডিজাইন করা হয়েছে; এর অভ্যন্তরীণ অংশগুলো পরিষ্কার রাখা হয়েছে, যাতে কোনো ধরনের কণা উৎপন্ন না হয়। ফটোরেজিস্টকে নির্দিষ্ট তাপমাত্রায় রাখা হয়; কারণ কন্ট্রোল অ্যালগরিদমটি ক্যারিয়ার মাস ও পরিবেশগত প্রভাবগুলোকে সামলায়। ২৪ ঘণ্টা ধরে এটি কাজ করতে পারে—কেবল প্রতিশ্রুতি দেওয়া হয়নি। আমরা উৎপাদন প্রক্রিয়ায় কোনো অপ্রত্যাশিত বন্ধ না হওয়ার ব্যবস্থা করেছি।
এই হিটারটি ড্রায়িং ও বেকিং প্রক্রিয়াকে সংক্ষিপ্ত করে দেয়; পরিষ্কার করার পর লিথোগ্রাফি প্রক্রিয়া দ্রুত সম্পন্ন হয়। এছাড়া, এটি অপ্রয়োজনীয় কণা ও দ্রবণ উৎপন্ন হওয়াকে কমিয়ে দেয়। হিটারটি দ্রুত কাজ করে এবং নির্দিষ্ট তাপমাত্রা বজায় রাখে; ফলে শক্তি খরচও কমে যায়। রক্ষণাবেক্ষণের সময়ও কমে যায়—কারণ হিটারটির তাপীয় মাস কম, আর এটি হাজার হাজার বার কাজ করতে পারে।
ইনস্টলেশন সংক্রান্ত একটি গুরুত্বপূর্ণ বিষয় হলো: হিটারটির জন্য আলাদা ২৪০ ভোল্টের বিদ্যুৎ সরবরাহ এবং পরিষ্কার, শুষ্ক বায়ু প্রয়োজন। হিটারটির আকারটি আপনার হ্যান্ডলার ইন্টারফেসের সাথে মেলে কিনা তা অবশ্যই নিশ্চিত করতে হবে; তাই যান্ত্রিক ও বৈদ্যুতিক সংযোগগুলো আগেই পরিকল্পনা করা উচিত। আমরা আকার সংক্রান্ত চিত্র ও পিনআউট ম্যাপ সরবরাহ করি, যাতে সবকিছু ঠিকমতো মেলে।