http://ir-heat-element.com/zh/tags/%E8%87%AD%E6%B0%A7/ Recent content in 臭氧 on Reliable IR Heating Elements Hugo zh Mon, 01 Jun 2026 02:55:01 +0800 http://ir-heat-element.com/zh/posts/ozone-free-infrared-lamp/ Mon, 01 Jun 2026 02:55:01 +0800 http://ir-heat-element.com/zh/posts/ozone-free-infrared-lamp/ <p><img src="http://ir-heat-element.com/images/016cf4f616aaa15e4af48856b8adc51b.png" alt="无臭氧红外灯"></p> <p>在线上，300 mm晶圆静候烘烤。软烤温度漂移0.3℃，即可见CD偏移、叠合偏斜，整批产品进入返工流程。烤箱设定点看似稳定，但载具上的传感器显示出不同情况——热点、冷边，薄膜固化异常。<br> 你运营的是Class 1–100级洁净室，密切关注每立方英尺的粒子计数，追踪每次偏差到根源。传统灯具可以提供热量，但同时带入臭氧、挥发物和颗粒进入工艺腔体。其输出会漂移，不均匀老化。当灯输出变化，工艺窗口也随之偏移。<br> 我们开发了无臭氧红外灯，将这些变量排除在外。关键是实现晶圆表面的热控，而非仅仅控制加热器。</p>