http://ir-heat-element.com/zh/tags/%E5%AF%B9%E6%B5%81/ Recent content in 对流 on Reliable IR Heating Elements Hugo zh Thu, 25 Jun 2026 05:19:32 +0800 http://ir-heat-element.com/zh/posts/infrared-vs-convection-for-wafer-drying/ Thu, 25 Jun 2026 05:19:32 +0800 http://ir-heat-element.com/zh/posts/infrared-vs-convection-for-wafer-drying/ <p><img src="http://ir-heat-element.com/images/c4487c91a5d0bd93963bf8b3a19ba704.png" alt="晶圆干燥：红外线干燥与对流干燥的比较"></p> <p>在芯片制造过程中，良率的高低取决于温度和尺寸的控制精度。哪怕温度偏差只有半度或几纳米，都可能导致芯片上的线条宽度出现偏差；而对流式烤箱中的气流则可能把颗粒带到新鲜的光刻胶层上。因此，关键不在于如何让晶圆干燥，而在于如何在不增加工艺变量 的前提下完成这一过程。</p>