http://ir-heat-element.com/vi/tags/rtp/ Recent content in (RTP) on Reliable IR Heating Elements Hugo vi Mon, 08 Jun 2026 05:32:30 +0800 http://ir-heat-element.com/vi/posts/rapid-thermal-processing-rtp-lamp/ Mon, 08 Jun 2026 05:32:30 +0800 http://ir-heat-element.com/vi/posts/rapid-thermal-processing-rtp-lamp/ <p><img src="http://ir-heat-element.com/images/0ea7296bcdd661f341d1983d454c4037.png" alt="Đèn xử lý nhiệt nhanh (RTP)"></p> <p>Trên sàn sản xuất, bạn biết rõ quy trình: sự dịch chuyển nửa độ trong quá trình soft bake làm thay đổi cấu hình <a href="https://o-yate.com">photoresist</a>, và sự thay đổi đó ảnh hưởng trực tiếp đến kích thước quan trọng (critical dimension) của bạn. Ngân sách nhiệt được kiểm soát nghiêm ngặt, không có chỗ cho sai lệch.</p> <p><strong>Những điểm cần lưu ý bên trong hệ thống</strong><br> Chúng tôi sử dụng đèn RTP với phương pháp gia nhiệt halogen sóng ngắn qua thạch anh tinh khiết cao, do đó năng lượng truyền rất nhanh và có hướng định rõ. Hệ thống giữ độ đồng đều nhiệt độ trên wafer trong phạm vi ±0.1°C suốt toàn bộ quy trình, từ bước photoresist soft bake đến hard bake. Tính lặp lại được đảm bảo từng shot, và hệ thống điều khiển vòng kín giữ điểm đặt ổn định dù có tải.</p>