http://ir-heat-element.com/vi/tags/quang-h%E1%BB%8Dc/ Recent content in Quang Học on Reliable IR Heating Elements Hugo vi Wed, 03 Jun 2026 10:20:06 +0800 http://ir-heat-element.com/vi/posts/optical-wafer-processing-heater/ Wed, 03 Jun 2026 10:20:06 +0800 http://ir-heat-element.com/vi/posts/optical-wafer-processing-heater/ <p><img src="http://ir-heat-element.com/images/e359da41a435291bc4b653b358552252.png" alt="Bộ gia nhiệt xử lý wafer quang học"></p> <p>Out on the fab floor, một tấm wafer 300mm đặt sẵn, chờ bước soft bake để cố định cấu hình photoresist. Một điểm nóng, một vùng lạnh, và kiểm soát chiều rộng đường line của bạn sẽ bị mất. Dây chuyền dừng lại. Chúng tôi phát triển bộ gia nhiệt xử lý wafer quang học này để ngăn tình trạng đó xảy ra ngay từ đầu.</p> <p><strong>Điều quan trọng thực sự, về mặt kỹ thuật</strong><br> Thiết bị dựa trên các emitter quartz hồng ngoại sóng ngắn (SWIR), truyền năng lượng trực tiếp vào photoresist và nền tảng—nhanh, trực tiếp và không phức tạp. Bạn đạt được độ đồng đều trên tấm wafer trong phạm vi ±0.1°C trên vùng hoạt động, đảm bảo các bước bake quan trọng nằm trong giới hạn nhiệt quy định. Thiết bị tương thích với phòng sạch từ Class 1 đến Class 100, đồng thời không sinh ra hạt bụi trong quá trình vận hành. Độ lặp lại nhiệt độ giữ ở ±0.2°C giữa các lô, và bộ gia nhiệt hoạt động liên tục 24/7 mà không có thời gian chết không kế hoạch.</p>