http://ir-heat-element.com/vi/tags/ozon/ Recent content in Ozon on Reliable IR Heating Elements Hugo vi Mon, 01 Jun 2026 02:55:01 +0800 http://ir-heat-element.com/vi/posts/ozone-free-infrared-lamp/ Mon, 01 Jun 2026 02:55:01 +0800 http://ir-heat-element.com/vi/posts/ozone-free-infrared-lamp/ <p><img src="http://ir-heat-element.com/images/016cf4f616aaa15e4af48856b8adc51b.png" alt="Đèn hồng ngoại không khí ozone"></p> <p>Trên dây chuyền, wafer 300 mm đang chờ bước nung. Chỉ cần một sự chênh lệch 0,3°C trong quá trình soft bake, bạn sẽ thấy sự dịch chuyển CD, lệch overlay và cả mẻ sản xuất phải làm lại. Điểm đặt nhiệt của lò có thể trông ổn định, nhưng cảm biến trên giá đỡ lại cho thấy tình trạng khác—vùng nóng, mép lạnh, lớp màng mỏng bị đóng rắn sai cách.</p> <p>Bạn vận hành một phòng sạch Class 1–100. Bạn theo dõi mật độ hạt bụi trên mỗi feet khối và truy nguyên mọi sai lệch về nguyên nhân gốc rễ. Đèn thông thường có thể cung cấp nhiệt, nhưng chúng cũng phát sinh ozone, khí thải và hạt bụi vào buồng xử lý. Chúng bị trôi nhiệt. Tuổi thọ không đều. Và khi công suất đèn thay đổi, cửa sổ quy trình cũng thay đổi theo.</p>