Làm thế nào để kiểm soát nhiệt độ của wafer một cách hiệu quả (mà không lãng phí năng lượng)
Trong môi trường sạch, nếu nhiệt độ của wafer giảm xuống trong quá trình vận chuyển, điều đó sẽ dẫn đến những hậu quả nghiêm trọng. Đó là lý do tại sao chúng ta sử dụng các thiết bị sưởi ấm dạng xe đẩy. Nhưng vấn đề thực sự không phải là việc tạo ra bao nhiêu nhiệt lượng, mà là làm sao để nhiệt lượng đó được truyền trực tiếp đến wafer, chứ không chỉ làm nóng phần khung kim loại xung quanh.
Tại sao chúng ta chọn vàng?
Hầu hết mọi người bắt đầu bằng cách sử dụng vật liệu phản xạ bằng nhôm, nhưng chúng hấp thụ quá nhiều năng lượng hồng ngoại. Chúng tôi chuyển sang sử dụng lớp phủ vàng có độ tinh khiết cao, vì chúng có thể phản xạ hơn 98% lượng bức xạ đó. Có thể coi chúng như những tấm gương phản xạ nhiệt. Thay vì để năng lượng lan tỏa ra khắp nơi, lớp vàng này sẽ hướng năng lượng sang một hướng duy nhất. Điều này giúp biến thiết bị sưởi ấm thành một nguồn nhiệt tập trung, giúp mỗi watt năng lượng đều được sử dụng một cách hiệu quả.
Vấn đề về tốc độ và “điểm nóng”
Chúng tôi sử dụng các bóng đèn sóng ngắn có công suất cao, vì chúng có thể làm nóng mục tiêu một cách nhanh chóng. Điều này rất tốt. Nhưng có một vấn đề: nếu lớp phủ vàng không đồng đều, sẽ xuất hiện những “điểm nóng” trên bề mặt wafer. Đó là lý do tại sao chúng tôi rất chú ý đến quy trình phủ vàng. Chúng tôi cần một lớp phủ hoàn hảo để đảm bảo nhiệt độ được duy trì đồng đều trên toàn bộ bề mặt wafer.
Nhược điểm: Cần phải cẩn thận
Vàng rất tốt trong việc tập trung nhiệt, nhưng nó cũng khá khó chiều. Bạn không thể dùng các chất tẩy rửa mạnh để làm sạch bề mặt vàng. Chỉ cần một vết xước nhỏ hoặc sự tích tụ hóa chất nhỏ thôi cũng có thể làm giảm khả năng phản xạ của lớp vàng. Khi đó, các bóng đèn sẽ phải hoạt động gấp đôi để duy trì nhiệt độ, và các sợi dây tóc của bóng đèn cũng sẽ nhanh chóng bị cháy.
Một mẹo cuối cùng: Hãy kiểm tra các bộ điều khiển PID.
Vì vàng khiến hệ thống phản ứng nhanh hơn so với các bộ sưởi ấm thông thường, nên nhiệt độ sẽ tăng lên rất nhanh. Bạn cần điều chỉnh các thông số liên quan đến việc kiểm soát nhiệt độ, nếu không wafer của bạn sẽ bị cháy.