Trong quy trình sản xuất, bạn biết đấy, chỉ cần nhiệt độ tăng thêm 2°C trong quá trình sấy khô hóa chất phủ lên wafer cũng có thể phá hỏng toàn bộ kết quả công việc đã được thực hiện trong nhiều tuần liền. Sự biến đổi nhiệt độ trong quá trình in ấn? Điều này hoàn toàn không thể chấp nhận được. Sự không đồng đều trong quá trình sấy khô wafer? Cũng vậy thôi. Bộ phận gia nhiệt phải hoạt động đúng theo chu trình của máy móc, không được có sai sót nào cả.
Những yếu tố quan trọng Chúng tôi thiết kế chiếc đèn hồng ngoại này dựa trên nguyên lý sử dụng sợi dây phát sáng có khả năng phát xạ cao, cùng với cấu trúc phản xạ giúp duy trì nhiệt độ ổn định. Kết quả là có thể kiểm soát nhiệt độ một cách chính xác, với mức độ đồng đều cao – thường vào khoảng ±0,1°C trong khu vực được sưởi ấm. Phần vỏ đèn được làm từ molypden, giúp duy trì hình dạng ổn định trong các chu kỳ nhiệt độ khác nhau. Vỏ đèn cũng phù hợp với môi trường sạch từ cấp độ 1 đến cấp độ 100. Công suất đầu ra của đèn luôn ổn định, và sau 5.000 giờ hoạt động, mức độ suy giảm công suất vẫn dưới 5%.
Tại sao nó phù hợp với công việc của bạn Chiếc đèn này được thiết kế dành riêng cho các quy trình nhiệt độ mà bạn thường sử dụng: sấy khô wafer, xử lý hóa chất phủ lên wafer, đóng gói wafer, và sấy khô sau khi vệ sinh wafer. Mức độ đồng đều cao giúp giảm sự thay đổi về độ dày của các lớp trên wafer, đồng thời giảm lượng chất lỏng còn sót lại trên wafer. Điều này giúp kiểm soát độ chính xác của kích thước wafer và giảm số lần phải làm lại công việc. Quá trình gia nhiệt diễn ra nhanh chóng và ổn định, giúp rút ngắn thời gian xử lý wafer mà vẫn giữ được mức nhiệt độ trong giới hạn cho phép. Hệ thống gia nhiệt sạch sẽ và được kiểm soát chặt chẽ giúp bảo vệ chất lượng wafer trong những bước xử lý nhạy cảm, nơi mà mức độ nhiễm bẩn chỉ được tính bằng con số ít ỏi trên mỗi wafer.
Lưu ý khi lắp đặt Độ chính xác trong quá trình lắp đặt rất quan trọng. Hãy đảm bảo rằng vỏ đèn được lắp đặt đúng vị trí trong buồng xử lý, và kiểm tra kỹ càng các điểm kết nối với thiết bị gốc. Nếu không đúng vị trí, sẽ xuất hiện những điểm nóng và gây ra sự biến đổi nhiệt độ. Đèn hoạt động với công suất cao, vì vậy hãy đảm bảo rằng hệ thống dẫn điện có khả năng chịu tải tốt, và các lối thông khí được đảm bảo thông thoáng. Điều này giúp duy trì nhiệt độ ổn định của sợi dây phát sáng. Hãy chuẩn bị thời gian để đèn ổn định nhiệt độ trước khi bắt đầu sử dụng, để đảm bảo chất lượng công việc được duy trì ổn định từ lần này sang lần khác.