فیکٹری میں، بیکنگ کے دوران درجہ حرارت میں 0.1°C کی تبدیلی سے ویفروں کے ابعاد نینومیٹر کی سطح پر تبدیل ہو جاتے ہیں۔ اس کے نتیجے میں ویفروں کو ردی قرار دینا پڑتا ہے، فوٹوریزسٹ کی مقدار کم ہو جاتی ہے، اور پیداواری عمل میں مشکلات پیدا ہو جاتی ہیں۔
تکنیکی لحاظ سے کیا اہم ہے؟
ہم نے سیمی کنڈکٹرز کے تھرمل خصوصیات کو مدِ نظر رکھتے ہوئے لینیئر انفراریڈ ہیٹنگ ایمیٹر تیار کیا ہے۔ یہ ایمیٹر ویفروں پر تیز رفتاری سے توانائی پہنچاتا ہے، اور ایکٹو زون میں درجہ حرارت کو ±0.1°C کے دائرے میں برقرار رکھتا ہے۔ اس طرح، “سافٹ بیکنگ” اور “ہارڈ بیکنگ” کے عمل بار بار دہرائے جا سکتے ہیں۔
یہ سسٹم کلاس 1–100 کے ماحول میں بغیر کسی رکاوٹ کے کام کرتا ہے؛ کوئی ذرات پیدا نہیں ہوتے، اور سسٹم کی ساخت ایسی ہے کہ آلودگی صرف پروسیس زون سے باہر رہتی ہے۔ مسلسل استعمال کے باوجود بھی اس کی کارکردگی مستحکم رہتی ہے۔ فیلڈ ڈیٹا سے پتہ چلتا ہے کہ یہ سسٹم 5,000 گھنٹوں تک مسلسل کام کر سکتا ہے، اور اس کی کارکردگی میں کم سے کم کمی ہوتی ہے۔
یہ ڈیزائن بین الاقوامی سیمی کنڈکٹر آلات کے معیارات کے مطابق ہے، اور یہ ایک موثر متبادل حل فراہم کرتا ہے۔ اس کی تنصیب میکانی اور الیکٹریکل طریقوں سے کی جاتی ہے، اور اس میں کوئی قیاس آرائی کی ضرورت نہیں ہے۔
لیتھوگرافی میں یہ سسٹم کیوں کارگر ہے؟
فوٹوریزسٹ کا ردِعمل درجہ حرارت کی تاریخ پر منحصر ہے، نہ کہ صرف درجہ حرارت کی اونچائی پر۔ ہمارا لینیئر ایمیٹر تیزی سے گرم ہوتا ہے، تیزی سے ٹھنڈا ہوتا ہے، اور ہمیشہ ایک ہی تھرمل پروفائل فراہم کرتا ہے۔ اس کے نتیجے میں دوبارہ کام کرنے کی ضرورت کم ہو جاتی ہے، CD کنٹرول بہتر ہو جاتا ہے، اور سائیکل ٹائم کو بہتر طریقے سے منصوبہ بند کیا جا سکتا ہے۔ توانائی کی کھپت بھی کم ہو جاتی ہے، کیوں کہ تھرمل ماس بہت کم ہے؛ گرمی صرف ضرورت کے وقت ہی پیدا ہوتی ہے، کوئی اضافی گرمی نہیں پیدا ہوتی۔
سسٹم 24/7 کام کرنے کے لئے تیار ہے، اور اس کی دیکھ بھال کے وقفے بھی پہلے سے معلوم ہیں۔ صاف ستھرا آؤٹ پٹ، ویفروں پر ذرات کی تعداد کو کم رکھتا ہے، جو بہت اہم ہے۔
آپ کو کیا جاننے کی ضرورت ہے؟
اس سسٹم کی تنصیب کے لئے درست آپٹیکل الائنمنٹ اور ایمیٹر کے وولٹیج اور کرنٹ پروفائل کے مطابق مناسب پاور سپلائی ضروری ہے۔ اگر ایمیٹر دیگر ماڈیولوں کے بہت قریب ہو تو تھرمل کراس ٹاکنگ کا مسئلہ پیدا ہو سکتا ہے۔ ہم یونیفارمٹی برقرار رکھنے کے لئے کلیرنس میپس اور تھرمل شیلڈنگ کے طریقے فراہم کرتے ہیں۔ اور اگر آپ کا پروسیس بیکنگ اور کولنگ کے درمیان تبدیل ہوتا رہتا ہے، تو یقین کریں کہ آپ کا چلر اس کے ساتھ ہی کام کر سکتا ہے۔ ایمیٹر گرمی فراہم کرتا ہے، لیکن پورا پروفائل پھر بھی ارد گرد کے تھرمل سسٹم پر منحصر ہے۔