http://ir-heat-element.com/uk/tags/dryer/ Recent content in Dryer on Reliable IR Heating Elements Hugo uk Wed, 17 Jun 2026 16:30:39 +0800 http://ir-heat-element.com/uk/posts/near-infrared-nir-wafer-dryer/ Wed, 17 Jun 2026 16:30:39 +0800 http://ir-heat-element.com/uk/posts/near-infrared-nir-wafer-dryer/ <p><img src="http://ir-heat-element.com/images/0a976f8a438e1a813cc995e9355a4471.png" alt="Сушарка пластин у діапазоні ближнього інфрачервоного випромінювання (NIR)"></p> <p>Під час процесу сушіння ефективність знижується через відхилення температури контролю. Чисте промивання залишає після себе мікрокраплі, а ці краплі стають причиною виникнення дефектів. Пристрої для обробки фоторезисту можуть показувати потрібну температуру на дисплеї, але в цілому по партії продукції це призводить до неоднорідності та появи дефектів. Рішенням не є просто збільшення кількості тепла – потрібен контрольований подача тепла.</p> <p><strong>Що є важливим у процесі сушіння</strong><br> Ми створили сушарку для пластин у НІР-діапазоні, яка використовує випромінювачі з короткою довжиною хвилі, налаштовані на поглинання світла силіцієм. Таким чином енергія проникає в матеріал без його підігрівання. Час реакції становить менше секунди, а однорідність температури по всій поверхні пластини становить ±0,1°C. Камера сумісна з приміщеннями класу 1–100, матеріали, використовувані в камері, мають низький рівень викидів газів, а ламінарний потік повітря запобігає утворенню частинок. Повторюваність процесу забезпечується завдяки каліброваним датчикам та системі замкнутого контролю, тож кожен крок процесу відбувається при однакових умовах.</p>