Hızlı termal işleme (RTP) lambası

Mon, 08 Jun 2026 05:32:30 +0800

On fabrika katında işleyişin nasıl olduğunu bilirsiniz: yumuşak pişirmedeki yarım derece kayma, fotoresist profilini değiştirir ve bu kayma kritik boyutunuza yansır. Termal bütçe kesin olup, hata yapmaya yer yoktur.
Kaputun altında önemli olan
Kısa dalga halojen ısıtmalı RTP lambalarını yüksek saflıkta kuvars üzerinden çalıştırıyoruz, böylece enerji hızlı ve yöneliktir. Sistem, fotoresist yumuşak pişirmeden sert pişirmeye kadar tüm proses aralığında wafer düzeyinde termal homojenliği ±0.1°C içinde tutar. Tekrarlanabilirlik atış başına olup, kapalı çevrim kontrolü yük altında set noktayı sabit tutar.
Temizoda Class 1–100 standardına göre tasarlanmıştır, sıfır partikül oluşumu ve düşük gaz çıkışı sağlar. Bu üniteler 7/24 görev yapar ve 5.000+ saat çalışma süresinde %5’ten az çıkış düşüşü yaşanmıştır.
Bulunduğunuz yerde bunun önemi
Litoğrafide, stabil pişirme sıcaklığı CD’lerin hedefte kalmasını ve çizgi kenar pürüzlülüğünün kontrol altında tutulmasını sağlar. Sıkı homojenlik, daha az kenar redleri ve daha temiz bir genel verim anlamına gelir. Hızlı rampalama oranları, döngü süresini kısaltır ve yığın içinde pişirme stresi yaratmaz; verimlilik ise işletme maliyetlerini düşürür.
Bunun sonucu olarak daha az sapma, az revizyon ve güvenilir çıktı elde edilir. Paketlemede ise aynı termal stabilite, güvenilir kürleşme ve sağlam bağ bütünlüğü sağlar, böylece hat sürekli çalışır.
Doğru yapılması gerekenler
Lamba yüksek yoğunluktadır, bu yüzden hazne arayüzünüz termal olarak uyumlu olmalıdır. Arayüz çizimleri sağlıyoruz ve ±1% voltaj kararlılığı olan ayrı bir güç beslemesi öneriyoruz. Kararlı duruma ulaşmak için kısa bir ısınma süresi bekleyin—reçetelerinizi bu rampa etrafında planlayın. Doğru kurulumla, planlanmamış arıza süresi minimum olacak stabil performans elde edersiniz.

Termal on Reliable IR Heating Elements

Hızlı termal işleme (RTP) lambası