Radyant ısı ile MEMS waferlerini doğru şekilde kurutmak
MEMS sensör waferlerini kurutmak oldukça hassas bir işlemdir. Nemin giderilmesi için yeterli ısı gereklidir; ancak bu ısıyı aşırı kullanırsanız, o küçük ve hassas mikro yapılar zarar görebilir.
İşte bu yüzden altın kaplamalı yansıtıcılar kullanıyoruz. Bu kulağa karmaşık geliyor olabilir, ancak amacımız basit: Kızılötesi ısının doğrudan waferlere ulaşmasını sağlamak, makinenin iç kısımlarının sadece ısınmasını engellemektir.
Neden altın?
Çoğu kişi alüminyum yansıtıcılar kullanmaya başlar; ancak bunun bir dezavantajı vardır. Alüminyum, enerjinin büyük bir kısmını emer ve dağıtır. Bu da israfa yol açar.
Biz ise yüksek saflıkta altın kaplamalar kullanıyoruz; çünkü altın, kızılötesi ışığı daha iyi yansıtabilir. Böylece ısı, makinenin iç kısımlarına yayılmak yerine doğrudan waferlere yönlendirilir. Sonuç olarak, daha az güçle daha fazla ısı elde edilir.
Küçük alanlarda maksimum verim
Bu ısıtıcıları seçerken asıl aranan şey enerji yoğunluğudur. Yani, küçük bir alanda çok fazla güç elde etmek istiyorsunuz. Radyasyonu odaklayarak, çok daha az güçle hedeflenen kurutma sıcaklığına ulaşılabilir. Bu sayede kurutma süresi kısalır ve her wafer için gereken zaman azalır.
Değiş tokuş
Ancak burada bir dezavantaj var: Isıyı bu kadar yoğun bir şekilde odakladığınızda, lambanın elektrotları ve koruma kabuğu zarar görebilir. Eğer işleri hızlandırmak için gücü aşırı artırırsanız, sorunlar ortaya çıkabilir. Soğutma havası uygun şekilde ayarlanmazsa, filamentler yanabilir veya yansıtıcılar bozulabilir. Dolayısıyla, ne kadar ısı yansıtacağınız ile sistemin ne kadar ısıyı dışarı atabileceği arasında denge bulmak önemlidir.
Kurulum
Bu cihazlar, standart IR modüllerinin yerine kullanılmak üzere tasarlanmıştır; bu yüzden kurulumları zor değildir. En dikkat edilmesi gereken nokta ise hizalanmadır. Lambanın ekseni ile altın kaplamalı bölümün mükemmel şekilde hizalanması gerekir. Eğer lamba biraz bile merkezden saparsa, odak noktası kaybolur ve kurutma işlemi düzensiz hale gelir.
Son bir ipucu: Cihazı stabil bir güç kaynağına bağlayın. Gerilim dalgalanmaları lambanın ömrünü hızla tüketir.