http://ir-heat-element.com/ru/tags/%D0%BE%D0%BF%D1%82%D0%B8%D1%87%D0%B5%D1%81%D0%BA%D0%B8%D0%B9/ Recent content in Оптический on Reliable IR Heating Elements Hugo ru Wed, 03 Jun 2026 10:20:05 +0800 http://ir-heat-element.com/ru/posts/optical-wafer-processing-heater/ Wed, 03 Jun 2026 10:20:05 +0800 http://ir-heat-element.com/ru/posts/optical-wafer-processing-heater/ <p><img src="http://ir-heat-element.com/images/e359da41a435291bc4b653b358552252.png" alt="Оптический нагреватель для обработки пластин"></p> <p>На производственном участке лежит 300mm пластина, ожидающая мягкого отжига для закрепления профиля фоторезиста. Один горячий участок, одна холодная зона — и контроль ширины линий теряется. Производство останавливается. Мы разработали этот оптический нагреватель для обработки пластин, чтобы такого не происходило.</p> <p><strong>Что действительно важно с технической точки зрения</strong><br> Устройство использует кварцевые излучатели коротковолнового инфракрасного спектра (SWIR), которые передают энергию непосредственно в фоторезист и подложку — быстро, напрямую и без лишних сложностей. Вы получаете однородность температуры на уровне пластины с отклонением не более ±0,1°C по активной площади, что позволяет сохранять критические этапы отжига в рамках теплового бюджета. Нагреватель совместим с чистыми помещениями классов от Class 1 до Class 100 и не генерирует частиц во время работы. Повторяемость температуры удерживается на уровне ±0,2°C от партии к партии, а нагреватель работает круглосуточно без незапланированных простоев.</p>