Lâmpada de processamento térmico rápido (RTP)
No chão da fábrica, você sabe como funciona: uma deriva de meio grau na pré-cura suave desloca o perfil do foto-revestimento, e esse deslocamento...
Aquecedor de processamento óptico de wafer
No piso da fábrica, uma pastilha de 300mm está posicionada, aguardando a pré-secagem para fixar o perfil do fotoresiste. Um ponto quente, uma zona...