Lampa szybkiego przetwarzania termicznego (RTP)
Na hali produkcyjnej wiesz, jak to działa: półstopniowe przesunięcie w miękkim pieczeniu zmienia profil fotorezystu, a ta zmiana wpływa na wymiar...
Ogrzewacz do obróbki optycznych płyt krzemowych
Na hali produkcyjnej leży płytka 300mm, czekająca na miękkie wypalenie, które utrwali profil fotorezystu. Jeden gorący punkt, jedna strefa chłodna i...