Redukcja emisji dwutlenku węgla w komorach do pracy z półprzewodnikami za pomocą grzania podczerwonego
Bądźmy szczerymi: ogrzewanie komory przeznaczonej do pracy z półprzewodnikami jest zwykle stratą energii. W większości przypadków używa się grzania oporowego, co oznacza, że trzeba podgrzać całą komorę tylko po to, by temperatura elementu roboczego osiągnęła odpowiedni poziom. To nieefektywne rozwiązanie.
Znaleźliśmy lepszy sposób. Dzięki użyciu elementów grzewczych działających w zakresie krótkich fal podczerwonych możemy skierować ciepło dokładnie tam, gdzie jest potrzebne. Zamiast próbować ogrzać całą komorę, skupiamy się na elemencie roboczym.
Aspekt mocy
Gdy pracujemy w próżni lub w inertnej atmosferze, musimy szybko osiągnąć właściwą temperaturę. Tu przydaje się wysoka gęstość mocy. Ponieważ podczerwień przekazuje ciepło poprzez promieniowanie, a nie konwekcję, nie trzeba używać dużych ilości energii na podgrzanie gazu argonu lub azotu znajdującego się w komorze. To sprawia, że czas podgrzewania znacznie się skraca, a różnicę w rachunkach za energię można zaobserwować niemal natychmiast.
Co jest niezbędne do budowy takiej komory?
Zanieczyszczenia są tu głównym wrogiem. Jeden mały błąd może zrujnować całą partię produktów. Dlatego używamy kwarcowych pokrywek i żarników z wolframu najwyższej czystości. Kwarc jest doskonały, ponieważ nie uwalnia gazów pod wpływem wysokiej temperatury. Używamy też specjalnych powłok, aby ciepło mogło efektywnie przenikać do materiału, a nie odbijać się od jego powierzchni.
A ponieważ w tych komorach zawsze brakuje miejsca, używamy standardowych złączy. To zapewnia dobrą izolację elektryczną i zapobiega powstawaniu niepożądanych iskier.
Realna sytuacja
Przejście na grzanie podczerwone to korzyść zarówno dla planety, jak i dla Twojej czystej sali produkcyjnej. To znacznie zmniejsza obciążenie systemów klimatyzacyjnych i chłodzących.
Ale to nie jest „magiczne rozwiązanie”. Wysokointensywne światło podczerwone powoduje lokalne nagrzewanie. Jeśli nie będziemy uważni przy montażu elementów, mogą pojawić się problemy z konstrukcją komory lub uszkodzenia uszczelnień. Nie wystarczy po prostu włączyć urządzenie – potrzebny jest precyzyjny regulator PID. Bez właściwego sterowania istnieje duże ryzyko uszkodzenia żarnika lub podłoża.