W procesie litografii, wiecie jak to jest – nawet niewielka różnica w temperaturze może zaburzyć parametry linii na płytkach krzemowych. Zbyt wysoka temperatura przy procesie utwardzania powoduje, że materiał ochronny staje się zbyt twardy i przeciwdziała procesowi usuwania nadmiaru materiału, co skutkuje problemami, których nie chcemy mieć.
A te lampy podczerwone? To nie są po prostu grzejniki. To narzędzia służące do realizacji procesów technologicznych.
Co naprawdę jest ważne Lampę projektujemy tak, aby emitowała światło o krótkiej długości fali, dzięki czemu materiał ochronny może szybko pochłaniać ciepło. Dzięki temu uzyskujemy szybki wzrost temperatury, minimalne opóźnienia termiczne oraz jednolitość temperatury na całej powierzchni płytki krzemowej w przedziale ±0,1°C. Emiter znajduje się na stabilnym źródle zasilania, co zapewnia spójność wyników pomiarów. Urządzenie nadaje się do użytku w pomieszczeniach klasy czystości 1–100, bez żadnego tworzenia się cząstek. Można spodziewać się ponad 5 000 godzin pracy przy spadku wydajności poniżej 5%, a urządzenie może pracować 24/7 bez przerw.
Dlaczego to jest ważne w produkcji Proces łagodnego utwardzania służy do poprawy przyczepności materiału ochronnego oraz usunięcia rozpuszczalników. Proces intensywnego utwardzania natomiast zapewnia integralność maski używanej do etchingu. Dzięki tej lampie możemy kontrolować temperaturę podczas każdego procesu. Ten sam profil temperatury jest zachowany przy każdej płytkie krzemowej, co ułatwia kontrolę jakości produktu.
Zmniejsza się też zużycie energii, ponieważ lampa nagrzewa sam obiekt, a nie otaczające go elementy. Mniej wymian lamp oznacza mniej przerw w produkcji i mniej odpadów.
Na co należy zwrócić uwagę Należy dostosować lampę do geometrii komory oraz kurwy transmitancji kwarcowego okna. W przeciwnym razie odbicie światła i lokalne punkty o wysokiej temperaturze mogą zakłócić jednolitość temperatury. Sprawdź również typ złącza, napięcie oraz sposób chłodzenia urządzenia.
Konieczna jest regularna kalibracja pyrometru i mocy emitera. Lampa będzie spełniać swoją funkcję tylko wtedy, gdy cały system będzie dobrze skonfigurowany.