Optische waferverwerkingsverwarmer

Wed, 03 Jun 2026 10:20:05 +0800

Op de fabrieksvloer ligt een 300mm wafer die wacht op de soft bake om het photoresistprofiel te fixeren. Eén hotspot, één koude zone, en je lijnbreedtecontrole is weg. De lijn stopt. We hebben deze optische waferverwerkingsverwarmer gebouwd om te voorkomen dat dit in de eerste plaats gebeurt.
Wat technisch gezien echt telt
De unit maakt gebruik van kortegolf-infrarood (SWIR) kwartsstralers die energie direct in het photoresist en substraat brengen—snel, direct en zonder omwegen. U krijgt wafer-niveau uniformiteit binnen ±0,1°C over het actieve gebied, zodat die kritieke bake-stappen binnen het thermische budget blijven. Het is cleanroom-compatibel van Class 1 tot Class 100 en genereert geen deeltjes tijdens gebruik. De temperatuurherhaalbaarheid blijft binnen ±0,2°C van batch tot batch, en de verwarmer blijft 24/7 draaien zonder ongeplande stilstand.
Waarom het past bij het werk dat wij doen
Deze verwarmer voldoet aan de vier thermische kernpunten waar wij op vertrouwen: wafer droging, photoresist soft bake en hard bake, verpakking underfill en uitharden van encapsulatie, en droging na reiniging.
In lithografie zorgt die strakke uniformiteit dat CD- en profieldoelen binnen specificatie blijven, wat leidt tot minder afval en minder nabewerkingen. In verpakking verkort de snelle opwarmtijd het uithardingsvenster zonder overshoot, waardoor de doorvoer verbetert. En omdat SWIR direct verwarmt in plaats van de kamer, daalt het energieverbruik.
Hier zijn de details die u moet weten
De installatie komt neer op het afstemmen van de mechanische afmetingen van het gereedschap en de koelcircuits. Wij leveren de interface-tekeningen en connectorlijsten om integratie eenvoudig te maken.
De levensduur van de stralers is gespecificeerd op 10.000 uren. Daarna kan de outputdrift de uniformiteit beïnvloeden tenzij vervanging gepland wordt. Plan dus vooraf het onderhoudsmoment—wacht niet tot het probleem zich op de vloer voordoet.

Optisch on Reliable IR Heating Elements

Optische waferverwerkingsverwarmer