MEMS sensorwaferdroogheater

Tue, 28 Jul 2026 05:38:35 +0800

Het correct drogen van MEMS-sensorwafers met behulp van stralingswarmte
Het drogen van MEMS-sensorwafers vereist veel precisie. Er moet voldoende warmte worden gegenereerd om het vocht te verwijderen, maar als je te veel warmte gebruikt, kunnen de kleine, kwetsbare microstructuren beschadigen.

Daarom gebruiken we goudcoateerde reflectoren. Het klinkt misschien ingewikkeld, maar het doel is eenvoudig: ervoor zorgen dat de infrarode warmte rechtstreeks op de wafer terechtkomt, in plaats van alleen de binnenkant van de machine op te warmen.

Waarom goud?
De meeste mensen beginnen met aluminiumreflectoren, maar daar zijn nadelen. Aluminium neemt veel energie op en verstrooit deze ook. Dat is verspilling. We kiezen dus voor een goudcoating, want goud is beter in staat om infraroodlicht weerkaatsen. In plaats van dat de warmte zich verspreidt naar de rest van de machine, wordt de warmte rechtstreeks teruggekaatst naar de wafer. Het resultaat? Meer warmte op de wafer, zonder dat je meer energie hoeft te gebruiken.

Verwarmer voor het drogen van Micro LED wafers

Tue, 23 Jun 2026 01:16:45 +0800

Zodra een Micro LED-wafer klaar is met het reinigingsproces, begint de tijd te tellen. Restanten van vocht en thermische effecten kunnen de kwaliteit van de wafer snel beïnvloeden. De verhitting van de fotoresist moet precies binnen een bereik van ±0,1°C plaatsvinden; anders kan er sprake zijn van problemen met de precisie van de lijnen en de hechting van de fotoresist op de wafer. De droogheater moet deze nauwkeurigheid behouden, zonder dat er particules worden gegenereerd en zonder dat de temperatuurstabiliteit wordt verstoord.

Drogen on Reliable IR Heating Elements

MEMS sensorwaferdroogheater

Verwarmer voor het drogen van Micro LED wafers