De juiste temperatuur voor de wafer bereiken (zonder energie te verspillen)
In een schone omgeving kan de temperatuur van de wafer dalen tijdens het vervoer. Dit leidt tot grote problemen. Daarom gebruiken we verwarmingsapparaten die op wielen staan. Maar het echte probleem is niet hoeveel warmte er wordt geproduceerd. Het gaat erom dat de warmte echt bij de wafer terechtkomt, in plaats van alleen het metalen frame op te warmen.
Waarom we goud kiezen
De meeste mensen beginnen met aluminiumreflectoren, maar deze nemen veel te veel infraroodstraling op. We hebben overgestapt op coatings van hoge zuiverheid, omdat deze meer dan 98% van de straling weerkaatsen.
Stel je het voor als een spiegel voor warmte. In plaats van dat de energie overal heen gaat, wordt deze richting één punt gestuurd. Hierdoor wordt de verwarmingsapparaat een soort gefocuste straal, zodat elke watt werkt voor de wafer, en niet voor de ruimte.
Snelheid en het probleem van ‘hot spots’
We gebruiken lampen met een hoge vermogen, zodat ze snel de gewenste temperatuur kunnen bereiken. Dat is precies wat nodig is.
Maar er is een nadeel: als de gouden coating niet perfect even is, ontstaan er ‘hot spots’ op de wafer. Daarom is het belangrijk dat de coatings perfect zijn. We willen immers dat de temperatuur over de hele diameter gelijk is.
De afweging: voorzichtig omgaan met goud
Goud is uitstekend voor het focussen van warmte, maar het vereist wel zorgvuldige behandeling. Je mag deze oppervlakken niet met agressieve reinigers bewerken. Eén kleine kras of chemische ophoping kan de reflectiviteit ernstig verminderen. Dan moeten de lampen harder werken om de temperatuur hoog te houden, waardoor de filamenten sneller kapotgaan.
Nog een tip: controleer je PID-regelaars. Omdat goud het systeem veel sneller doet reageren dan een standaardverwarmingsapparaat, zal de temperatuur snel stijgen. Je moet de parameters goed instellen, anders bestaat het risico dat de wafer verbrandt.