Ceramische eindkappen voor IR-emitters: minder wachttijd tijdens diepverwerkingsprocessen van semiconductoren
We hebben deze keramische eindkappen voor IR-emitters ontworpen om één specifiek doel te bereiken: het vervangen van de hete luchtcirculatie bij diepverwerkingsprocessen van semiconductoren. Hierdoor wordt de tijd die nodig is om te wachten drastisch verminderd.
Verschil tussen hete lucht en infraroodstraling
Bij hete lucht moet eerst de lucht worden verhit, voordat de warmte het substraat kan bereiken. Bij infraroodstraling daarentegen bereikt de energie het doel rechtstreeks. Dit zorgt voor kortere verwerkingstijden. Punt.
Technische specificaties: stroomsterkte, spanning en afmetingen
Deze emitter beschikt over een hoge stroomsterkte. Hij werkt op een ingangsspanning van 400V en levert 2500W aan energie, verdeeld over een buis van 300 mm lang.
Waarom 400V?
Dit zorgt voor een lagere stroomsterkte, waardoor de bedrading en contactpunten eenvoudiger blijven. Echter, deze hoge stroomsterkte vereist wel een sterke elektrische interface.
De lengte van 300 mm
Dit zorgt voor een gefocuste hittezone. Je krijgt de gewenste intensiteit zonder dat de machine te warm wordt.
Materiaal en ontwerp: halogeen, coating en connectoren
Binnenin zit een halogeen-element in een kwartsbuis. Dit element reageert snel. De buis is verder omhuld met een keramische eindkap die thermische schokken kan weerstaan zonder te barsten. Deze keramische interface zorgt er ook voor dat de elektrische verbindingen stabiel blijven, zelfs wanneer de temperatuur steeds op en neer gaat. De buis heeft ook een speciale coating die het infraroodspectrum concentreert en de emissiviteit constant houdt.
Connectoren
Voor de aansluiting hebben we gebruik gemaakt van een R7s-connector. Dit is een industriële connector die betrouwbaar is en ervoor zorgt dat de lamp gemakkelijk kan worden vervangen.
Toepassingen en voordelen: diepverwerkingsprocessen van semiconductoren
Bij diepverwerkingsprocessen van semiconductoren is de tijd die nodig is om de materialen op te warmen een belangrijk probleem. Met deze emitter kun je de wafers en substraat direct opwarmen. Er is geen behoefte meer om eerst de hele ruimte op te warmen. De opstarttijd is kort en de temperatuur stijgt snel. De keramische eindkappen zorgen er bovendien voor dat alles betrouwbaar blijft werken, zelfs in moeilijke omstandigheden.
Nadelen
De 2500W aan uitgangsenergie zorgt voor een hoge hitteconcentratie. Het koelsysteem van de machine moet dus goed zijn geconfigureerd om deze temperatuurstijging aan te kunnen.
Voordelen
Er zijn minder onderhoudskosten. De machine kan meer uren per dag draaien. De productielijn kan dus continu blijven functioneren.