Op de lithografieafdeling weet je hoe het werkt: zelfs een klein verschil van een halve graad kan de dikte van de lijnen verstoren. Een te hoge temperatuur zorgt er juist voor dat de resistverf te stijf wordt, waardoor deze niet meer goed kan worden verwijderd. Dat leidt tot ongewenste resultaten.
En die infraroodlampen? Die zijn geen gewone verwarmers. Het zijn eerder proceshulpmiddelen.
Wat echt belangrijk is Wij bouwen de lampen zo dat ze gebruikmaken van kortegolfinfraroodlicht. Hierdoor wordt de warmte snel en gelijkmatig over het oppervlak van de resistverf verdeeld. Dit zorgt voor een snelle temperatuurstijging, minimaal thermisch vertragingssysteem, en een uniformiteit van ±0,1°C over het hele oppervlak. De emitter zit op een stabiele stroombron, zodat de uitstoot constant blijft. De lamp is geschikt voor gebruik in schone ruimtes van klasse 1–100, zonder dat er partikels vrijkomen. Je kunt rekenen op een levensduur van meer dan 5.000 uur, met minder dan 5% daling in de uitstoot. De lamp kan 24/7 draaien, zonder onverwachte stilstandsperioden.
Waarom dit belangrijk is in de productie Een zachte verhitting zorgt voor een goede hechting van de resistverf en haalt de oplosmiddelen eruit. Een harde verhitting zorgt ervoor dat de structuur van de resistverf behouden blijft. Met deze lamp kun je de temperatuur nauwkeurig bepalen voor elke batch. Hetzelfde temperatuurprofiel geldt voor alle wafers en batches, waardoor controle over de kwaliteit en de opbrengst gemakkelijker wordt.
De energieverbruik neemt af, omdat de lamp alleen het doeloppervlak verwarmt, en niet het omringende materiaal. Minder lampwisselingen betekent minder stilstandsperioden en minder afval.
Wat je moet controleren Zorg ervoor dat de lamp past bij de geometrie van de kamer en de transmissievergelijking van het kwartsraam. Anders kunnen reflecties en hete punten de uniformiteit verstoren. Controleer ook de soort connector, de spanning en het koelsysteem in overeenstemming met je apparatuur.
Plan regelmatige recalibratie van de pyrometer en de output van de emitter. De lamp doet zijn werk, maar alleen als de rest van het systeem goed is afgestemd.