Di lantai fab, anda tahu bagaimana keadaannya: pergeseran setengah darjah dalam soft bake mengubah profil photoresist, dan perubahan itu menggeser...

Di lantai pembuatan, sebuah wafer 300mm diletakkan, menunggu proses soft bake untuk mengunci profil photoresist. Satu titik panas, satu zon sejuk,...