Mengeringkan Wafer MEMS dengan Betul Menggunakan Haba Berfrekuensi Infra Merah
Mengeringkan wafer sensor MEMS merupakan proses yang memerlukan kehati-hatian yang tinggi. Anda memerlukan haba yang cukup untuk menghilangkan kelembapan, tetapi jika terlalu banyak haba digunakan, struktur mikroskopik yang halus pada wafer tersebut akan rosak.
Itulah sebabnya kita menggunakan reflektor yang dilapisi emas. Walaupun kedengaran rumit, tujuannya sangat mudah: memastikan bahawa haba inframerah benar-benar sampai ke wafer, bukannya hanya memanaskan bahagian dalaman mesin sahaja.
Mengapa emas?
Kebanyakan orang menggunakan reflektor yang diperbuat daripada aluminium. Namun, aluminium menyerap dan menyebarkan banyak tenaga haba tersebut. Ini merupakan pembaziran tenaga. Kita menggunakan lapisan emas yang berkualiti tinggi kerana emas lebih efektif dalam memantulkan cahaya inframerah. Dengan cara ini, haba dapat disalurkan secara langsung ke wafer, tanpa perlu meningkatkan kuasa yang digunakan.
Kuasa yang efektif dalam ruang yang kecil
Apabila memilih pemanas jenis ini, apa yang penting adalah kepadatan tenaga yang dihasilkan. Anda ingin mendapatkan kuasa yang tinggi dalam ruang yang kecil. Dengan memfokuskan sinaran haba, kita dapat mencapai suhu pengeringan yang diinginkan dengan menggunakan kurang kuasa. Ini bermakna proses pengeringan berjalan lebih cepat, dan masa yang diperlukan untuk mengeringkan setiap wafer juga berkurangan.
Keseimbangan antara haba yang dipantulkan dan sistem penyejukan
Namun, ada satu masalah. Apabila haba difokuskan dengan begitu kuat, elektrod lampu dan komponen lain akan terjejas. Jika anda cuba meningkatkan kuasa yang digunakan untuk mempercepatkan proses pengeringan, ia akan menyebabkan kerosakan pada komponen tersebut. Anda perlu mencari keseimbangan antara jumlah haba yang dipantulkan dan kemampuan sistem penyejukan untuk menyeimbangkan suhu.
Cara pemasangan
Unit ini direka untuk menggantikan modul IR biasa, jadi ia mudah dipasang. Perkara yang paling penting perlu diperhatikan ialah penyesuaian posisi lampu dan lapisan emas tersebut. Jika lampu tidak berada di posisi yang tepat, proses pengeringan akan menjadi tidak sekata.
Satu lagi tips: sambungkan unit ini ke sumber kuasa yang stabil. Fluktuasi voltan boleh merosakkan lampu dengan cepat.