Mengurangkan Pelepasan Karbon dalam Glovebox Semikonduktor Menggunakan Pemanasan Inframerah
Sejujurnya, memanaskan glovebox yang digunakan untuk kerja-kerja semikonduktor biasanya merupakan pembaziran tenaga. Kebanyakan sistem menggunakan kaedah pemanasan resistif, yang bermaksud kita perlu memanaskan seluruh ruang tersebut hanya untuk menaikkan suhu bahan kerja ke tahap yang diinginkan. Ini merupakan cara yang tidak efisien.
Kita telah menemukan cara yang lebih baik. Dengan menggunakan elemen pemanas inframerah gelombang pendek, kita dapat mengarahkan haba ke tempat yang sepatutnya. Dengan cara ini, kita tidak perlu memanaskan udara di dalam glovebox, sebaliknya haba akan dialirkan terus ke bahagian yang memerlukannya.
Aspek Kuasa
Ketika bekerja dalam keadaan vakum atau atmosfera inert, kita perlu mencapai suhu yang tinggi dengan cepat. Di sinilah keperluan untuk densiti kuasa yang tinggi. Memandangkan inframerah menghantar haba melalui radiasi dan bukan konveksi, kita tidak perlu menggunakan tenaga yang banyak untuk memanaskan gas argon atau nitrogen yang ada di dalam glovebox. Ini membolehkan masa pemanasan dikurangkan, dan penggunaan tenaga juga akan berkurangan.
Komponen yang Digunakan
Kontaminasi merupakan musuh utama di sini. Sedikit kesilapan pun boleh merosakkan keseluruhan produk yang dihasilkan. Itulah sebabnya kita menggunakan kaca kuarsa berkualiti tinggi serta filamen tungsten. Kaca kuarsa sangat sesuai kerana ia tidak mengeluarkan gas ketika dipanaskan. Kita juga menggunakan lapisan khas untuk memastikan haba dapat diserap oleh bahan tersebut, bukannya terpantul pada permukaannya sahaja.
Oleh kerana ruang di dalam glovebox sangat terhad, kita menggunakan sambungan standard. Ini memastikan sambungan elektrik menjadi lebih sempurna dan mengelakkan berlakunya arka elektrik yang boleh merosakkan komponen di dalam glovebox.
Realiti
Peralihan kepada penggunaan inframerah merupakan langkah yang baik untuk planet ini dan juga untuk bilik bersih yang digunakan untuk pengeluaran semikonduktor. Ia mengurangkan beban pada sistem HVAC dan sistem penyejukan. Namun, ia bukanlah penyelesaian yang mudah. Penggunaan inframerah berintensiti tinggi boleh menyebabkan haba yang berlebihan. Jika kita cuai dalam pemasangan komponen tersebut, ia boleh merosakkan struktur glovebox atau membran penutupnya. Selain itu, kita memerlukan kawalan PID yang tepat agar haba dapat dikawal dengan baik. Tanpa kawalan yang tepat, filamen boleh rosak atau substrat boleh terbakar.