http://ir-heat-element.com/ko/tags/%EB%8C%80%EB%A5%98/ Recent content in 대류 on Reliable IR Heating Elements Hugo ko Thu, 25 Jun 2026 05:19:32 +0800 http://ir-heat-element.com/ko/posts/infrared-vs-convection-for-wafer-drying/ Thu, 25 Jun 2026 05:19:32 +0800 http://ir-heat-element.com/ko/posts/infrared-vs-convection-for-wafer-drying/ <p><img src="http://ir-heat-element.com/images/c4487c91a5d0bd93963bf8b3a19ba704.png" alt="웨이퍼 건조를 위한 적외선 방식과 대류 방식 비교"></p> <p>제조 현장에서는 수율이 몇 도나 나노미터 단위로 결정됩니다. 반도체 웨이퍼를 가열할 때 온도가 0.5도만 변해도 웨이퍼의 두께에 변화가 생길 수 있으며, 대류식 오븐의 공기 흐름으로 인해 입자들이 새롭게 코팅된 포토레지스트 필름 위에 달라붙을 수도 있습니다. 중요한 것은 단순히 웨이퍼를 어떻게 건조시킬 것인가가 아니라, 공정에 추가적인 변수를 유발하지 않으면서 그 작업을 수행하는 방법입니다.</p>