http://ir-heat-element.com/ko/tags/%EB%8C%80%EA%B8%B0/ Recent content in 대기 on Reliable IR Heating Elements Hugo ko Thu, 02 Jul 2026 09:43:52 +0800 http://ir-heat-element.com/ko/posts/controlled-atmosphere-bake-lamp/ Thu, 02 Jul 2026 09:43:52 +0800 http://ir-heat-element.com/ko/posts/controlled-atmosphere-bake-lamp/ <p><img src="http://ir-heat-element.com/images/e359da41a435291bc4b653b358552252.png" alt="제어된 대기 환경의 굽기용 램프"></p> <p>리소그래피 공정에서 베이킹 단계는 단순한 중단 시점이 아니라, 공정의 중요한 분기점입니다. 만약 소프트 베이킹의 온도가 일정하지 않다면, 웨이퍼의 선 폭 제어에 문제가 생깁니다. 하드 베이킹 역시 균일하지 않으면, 불순물이나 이물질이 발생합니다. 열적 조건이 엄격할 경우, 베이킹 램프는 매일매일 웨이퍼 전체에 걸쳐 아주 정밀한 온도를 유지해야 하며, 입자나 변동성을 방지해야 합니다.</p>