http://ir-heat-element.com/ja/tags/nir/ Recent content in NIR on Reliable IR Heating Elements Hugo ja Wed, 17 Jun 2026 16:30:39 +0800 http://ir-heat-element.com/ja/posts/near-infrared-nir-wafer-dryer/ Wed, 17 Jun 2026 16:30:39 +0800 http://ir-heat-element.com/ja/posts/near-infrared-nir-wafer-dryer/ <p><img src="http://ir-heat-element.com/images/0a976f8a438e1a813cc995e9355a4471.png" alt="近赤外線 NIR ウェーハ乾燥機"></p> <p>熱制御が不安定になると、歩留まりが低下します。きれいに洗浄しても、微小な水滴が残ってしまい、これらの水滴は欠陥を引き起こす原因となります。フォトレジストを焼成する際、ディスプレイ上では目標温度が表示されますが、バッチ全体を通して見ると、線幅や汚れという形でその影響が現れます。解決策は単により多くの熱を与えるだけではありません。重要なのは、適切に制御された熱を与えることです。</p>