http://ir-heat-element.com/ja/tags/mems/ Recent content in MEMS on Reliable IR Heating Elements Hugo ja Tue, 28 Jul 2026 05:38:29 +0800 http://ir-heat-element.com/ja/posts/maximizing-radiant-energy-transfer-in-mems-wafer-drying-via-gold-coating-technology/ Tue, 28 Jul 2026 05:38:29 +0800 http://ir-heat-element.com/ja/posts/maximizing-radiant-energy-transfer-in-mems-wafer-drying-via-gold-coating-technology/ <p><img src="http://ir-heat-element.com/images/0a976f8a438e1a813cc995e9355a4471.png" alt="MEMSセンサーワイヤー用乾燥ヒーター"></p> <p>放射熱を利用してMEMSウェーハを適切に乾燥させる方法<br> MEMSセンサーのウェーハを乾燥させるのは、かなり微妙な作業です。水分を取り除くためには十分な熱が必要ですが、過度に熱を加えてしまうと、微細で繊細な微細構造が壊れてしまいます。<br> そのため、私たちは金メッキされた反射材を使用します。聞こえは良いですが、目的は単純です。つまり、赤外線の熱がウェーハに直接当たるようにし、装置の内部だけが温められないようにするのです。</p>